基板保持装置および基板搬送装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-349043
公開番号（公開出願番号）：特開平10-181877
出願日： 1996年12月26日
公開日（公表日）： 1998年07月07日
要約：

【要約】【課題】装置の大型化を招くことなく、深いステージに適合できる基板保持装置を実現すること【解決手段】第2のアーム6にステージの深さに対応した屈曲部を設け、第2のアーム6の先端部に可動爪8を設け、この可動爪8の回転駆動機構4を屈曲部に対して可動爪8側に設ける。

請求項（抜粋）：

先端に基板を支持する第1の支持部が設けられた可動な第1のアームと、先端に前記第1の支持部とともに基板を支持する第2の支持部が設けられ、かつ屈曲部を有する可動な第2のアームと、前記第1および第2のアームを移動させるアーム移動手段と、前記第2のアームに対する前記第2の支持部の相対位置を変える位置変位手段本体を有し、この位置変位手段本体が前記屈曲部に対して前記第2の支持部側に設けられてなる位置変位手段と具備してなることを特徴とする基板保持装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭62-043144
物品の移送積み上げ用ハンド装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-005843 出願人：レンゴー株式会社, 株式会社安川電機

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