基板処理装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-164465
公開番号（公開出願番号）：特開平11-016981
出願日： 1997年06月20日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：

【要約】【課題】アームのストロークが長く、可動部の動作領域が小さく、アームのたわみや振動が少ない基板搬送移載機構を備える基板処理装置。【解決手段】ヘッド24に内蔵されたモータに駆動されてプーリPU4が一方向に回転すると、ベルトBEに接続されたブーム42がAB方向に前進し、ヘッド24からせり出す。ブーム42がヘッド24からせり出すと、ブーム42のプーリPU1にかけられたベルトBEも、係止部材47を介してヘッド24側に固定されていることに原因して回転し、このベルトBEに接続されたホルダ部材41がAB方向に前進し、ブーム42からせり出し、結果的にホルダ部材41は移載アーム40が最も伸張した状態の実線の位置まで移動する。

請求項（抜粋）：

基板に所定の処理を施す複数の処理ユニットを配置したユニット配置部と、当該ユニット配置部との間で基板を受け渡す基板搬入搬出部とを備える基板処理装置であって、前記基板搬入搬出部は、基板を保持する移載アームを鉛直軸回りに回転させ鉛直軸に沿って昇降させる回転昇降機構と、前記移載アームを略水平方向に直線的に複数段にわたって伸縮する伸縮機構とを有する基板移載装置を備えることを特徴とする基板処理装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 , B25J 9/06 , B65G 49/07 , H01L 21/027

FI (4件)：

H01L 21/68 A , B25J 9/06 D , B65G 49/07 D , H01L 21/30 565

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-085812
多段スライド装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-207726 出願人：シーケーディ株式会社, 光洋精工株式会社
動力伝達機構
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-290091 出願人：東京エレクトロン株式会社

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