特許

J-GLOBAL ID：200903087739457657

変位計

発明者： 秋柴 雄二 ,  秋山 雅彦
出願人/特許権者： 株式会社キーエンス
代理人 (1件)： 河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-092411
公開番号（公開出願番号）：特開平7-294250
出願日： 1994年04月28日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：

【要約】【目的】 被測定物の表面の変位を測定できるとともに、変位を測定している面の傾きを表示できる変位計を提供する。【構成】 被測定物6に光を投射する光源1と、光源1から出射する光の波長より長い波長の光を、被測定物6に照射する撮像用光源13と、被測定物6からの光源1の光の反射光及び撮像用光源13の光の反射光が通る対物レンズ5と、対物レンズ5を通った夫々の光の反射光が入射するハーフミラー3と、ハーフミラー3で反射した光が投射され、被測定物の表面像を撮像する画像受光素子10とを備える。

請求項（抜粋）：

第1光源が出射した光を対物レンズを通して被測定物に投射し、該対物レンズを通った被測定物からの反射光を受光部で受光して、被測定物の表面の変位を測定する変位計であって、前記第1光源が出射する光の波長と異なる波長の光を前記被測定物へ照射する第2光源と、被測定物で反射した第1光源及び第2光源からの光が前記対物レンズを通って投射され、第2光源からの光の反射光による被測定物表面の像を撮像する撮像部と、該撮像部で得た像に第1光源からの光の集光位置と比較するための印を重ねて表示させ得る信号を作成する手段とを備えることを特徴とする変位計。

IPC (2件)：

G01C 3/06 ,  G01B 11/26

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 光学式変位計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-186114   出願人：工業技術院長
• 特開平1-123102
  

審査官引用 (2件)

• 光学式変位計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-186114   出願人：工業技術院長
• 特開平1-123102