特許

J-GLOBAL ID：200903087741153223

力学量検出装置

発明者： 橋本 雅人
出願人/特許権者： トヨタ自動車株式会社
代理人 (1件)： 大庭 咲夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-387396
公開番号（公開出願番号）：特開2002-188923
出願日： 2000年12月20日
公開日（公表日）： 2002年07月05日
要約：

【要約】【課題】 振動子を第1方向に振動させておいて、第1方向に直角な第2方向の振動子の振動を検出して角速度を検出する力学量検出装置において、振動子を第1方向の大きくかつ安定して振動させて角速度を検出精度を向上させる。【解決手段】 振動子20-1,20-1は、検出用梁31a〜31dを介してメインフレーム30-1〜30-4にY軸方向に変位可能に支持されている。メインフレーム30-1〜30-4は、駆動用梁33a〜33d,34a〜34dを介して基板10にX軸方向に変位可能に支持されている。メインフレーム30-1,30-3はリンク梁41a,41c及びリンク42aにより連結されているとともに、メインフレーム30-2,30-4はリンク梁41c,41d及びリンク42bにより連結されている。リンク42a,42bは、サブリンク梁43a〜43d及びサブリンク44a,44bにより連結されている。

請求項（抜粋）：

基板上にて互いに対向して配置されるとともに前記基板に対して前記基板表面と平行な第1方向に変位可能に支持された第1及び第2フレームと、前記基板上にて前記第1及び第2フレームの間に配置されて前記第1及び第2フレームに対して前記基板表面と平行かつ前記第1方向に直角な第2方向に変位可能に支持された第1振動子と、前記基板上にて前記第1方向における前記第1及び第2フレームの側方位置に互いに対向して配置されるとともに前記基板に対して前記第1方向に変位可能に支持された第3及び第4フレームと、前記基板上にて前記第3及び第4フレームの間に配置されて前記第3及び第4フレームに対して前記第2方向に変位可能に支持された第2振動子と、前記第1フレームと前記第3フレームとを前記第1方向に変位し易くかつ前記第2方向に変位し難く連結する第1連結手段と、前記第2フレームと前記第4フレームとを前記第1方向に変位し易くかつ前記第2方向に変位し難く連結する第2連結手段とを備え、第1乃至第4フレームを前記第1方向に振動させるとともに、前記第1及び第2振動子の前記第2方向の振動を検出するようにしたことを特徴とする力学量検出装置。

IPC (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84

FI (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84 Z

Fターム (17件)：

2F105BB03 ,  2F105BB04 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA02 ,  4M112CA06 ,  4M112CA13 ,  4M112CA14 ,  4M112DA02 ,  4M112DA12 ,  4M112EA03 ,  4M112FA20 ,  4M112GA03

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 共振型角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-334337   出願人：株式会社豊田中央研究所