特許
J-GLOBAL ID:200903087750643675

ジオール構造を有する脂環式(メタ)アクリレート

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 渡辺 勝 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-312171
公開番号(公開出願番号):特開2000-143588
出願日: 1998年11月02日
公開日(公表日): 2000年05月23日
要約:
【要約】【課題】 新規な(メタ)アクリレート誘導体を提供する。これらはArFネガ型レジスト用樹脂の原料として有用である。【解決手段】 一般式(1)で表されるジオール構造を有する新規な(メタ)アクリレート誘導体。【化1】(式(1)において、R1は水素原子またはメチル基、R2は炭素数2から4のアルキレン鎖、nは0または1を表す。)
請求項(抜粋):
一般式(1)で表されるジヒドロキシ脂環基を有する(メタ)アクリレート誘導体。【化1】(式(1)において、R1は水素原子またはメチル基、R2は炭素数2から4のアルキレン鎖、nは0または1を表す。)
IPC (3件):
C07C 69/54 ,  G03F 7/038 ,  C08F 20/28
FI (3件):
C07C 69/54 B ,  G03F 7/038 ,  C08F 20/28
Fターム (23件):
2H025AA00 ,  2H025AA09 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC34 ,  2H025BC83 ,  2H025BC86 ,  2H025CB41 ,  2H025CC17 ,  4H006AA01 ,  4H006AB46 ,  4H006BJ30 ,  4H006BN20 ,  4H006BP20 ,  4J100AL08P ,  4J100BA03P ,  4J100BC12P ,  4J100CA01 ,  4J100CA04 ,  4J100JA37
引用特許:
審査官引用 (1件)

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