特許
J-GLOBAL ID:200903087750643675
ジオール構造を有する脂環式(メタ)アクリレート
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
渡辺 勝 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-312171
公開番号(公開出願番号):特開2000-143588
出願日: 1998年11月02日
公開日(公表日): 2000年05月23日
要約:
【要約】【課題】 新規な(メタ)アクリレート誘導体を提供する。これらはArFネガ型レジスト用樹脂の原料として有用である。【解決手段】 一般式(1)で表されるジオール構造を有する新規な(メタ)アクリレート誘導体。【化1】(式(1)において、R1は水素原子またはメチル基、R2は炭素数2から4のアルキレン鎖、nは0または1を表す。)
請求項(抜粋):
一般式(1)で表されるジヒドロキシ脂環基を有する(メタ)アクリレート誘導体。【化1】(式(1)において、R1は水素原子またはメチル基、R2は炭素数2から4のアルキレン鎖、nは0または1を表す。)
IPC (3件):
C07C 69/54
, G03F 7/038
, C08F 20/28
FI (3件):
C07C 69/54 B
, G03F 7/038
, C08F 20/28
Fターム (23件):
2H025AA00
, 2H025AA09
, 2H025AA14
, 2H025AB16
, 2H025AC08
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC34
, 2H025BC83
, 2H025BC86
, 2H025CB41
, 2H025CC17
, 4H006AA01
, 4H006AB46
, 4H006BJ30
, 4H006BN20
, 4H006BP20
, 4J100AL08P
, 4J100BA03P
, 4J100BC12P
, 4J100CA01
, 4J100CA04
, 4J100JA37
引用特許:
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