特許

J-GLOBAL ID：200903096163299863

スマートハブ装置

発明者： 鈴木 清吾
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-057763
公開番号（公開出願番号）：特開平9-251304
出願日： 1996年03月14日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：

【要約】【課題】 製品の品質精度を向上し、歩留りを向上させることである。【解決手段】 プロセス工程における処理を行う複数の製造装置100と、この製造装置100の処理の制御を行う複数のクライアントコンピュータ200と、製造装置100の処理が終了した加工対象材料を次の処理を行う製造装置100に搬送する搬送手段300と、クライアントコンピュータ200の要求に応じて処理を行うサーバコンピュータ400と、を備え、複数のクライアントコンピュータ200及びサーバコンピュータ400をネットワークで接続して各製造装置100ごとに分散制御を行うようにしてある。

請求項（抜粋）：

複数のプロセス工程にて加工対象材料の加工処理を行い、LSIを作成を行うスマートハブ装置において、前記複数のプロセス工程における処理のパラメータを保存した履歴/特性データを用いて前記プロセス工程を各々制御する手段を備えることを特徴とするスマートハブ装置。

IPC (4件)：

G05B 13/04 ,  G05B 13/02 ,  H01L 21/00 ,  H01L 21/02

FI (4件)：

G05B 13/04 ,  G05B 13/02 A ,  H01L 21/00 ,  H01L 21/02 Z

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 電子回路装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-094134   出願人：株式会社日立製作所