特許

J-GLOBAL ID：200903087769767367

圧力センサ

発明者： 渡辺 潤
出願人/特許権者： エプソントヨコム株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-372332
公開番号（公開出願番号）：特開2006-177820
出願日： 2004年12月22日
公開日（公表日）： 2006年07月06日
要約：

【課題】センサ面積を大型化したり、環境温度の上昇に伴って信頼性を低下させることなくロウ材による接合力を高く維持することができる圧力センサを提供する。【解決手段】水晶材料から成る底板3と、底板上面の固定電極4及び下部メタライズ電極5と、を備えた基台2と、固定電極と対向する薄肉部、及び厚肉環状部を有した水晶材料から成る検出片12と、を備えた検出部材11と、薄肉部下面に形成され且つ固定電極と対向する可動電極13と、厚肉環状部下面に形成され且つ可動電極と離間した上部メタライズ電極14と、を備え、下部メタライズ電極と上部メタライズ電極とをロウ材15により基台上面に検出部材を接合した構成において、下部メタライズ電極と上部メタライズ電極の表層を金層30とすると共に、底板上面と金層との間、及び検出片下面と該金層との間に、夫々チタン層31を介在させた。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基台と、該基台の上面との間に空間を形成した状態で該基台上面に接合された検出部材と、を備えた圧力センサであって、 前記基台は、水晶材料から成る底板と、該底板の上面に積層された固定電極と、該底板上面に形成され、且つ該固定電極と離間配置されつつ電気的に導通した下部メタライズ電極と、を備え、 前記検出部材は、前記固定電極と対向する位置関係にある薄肉部、及び該薄肉部の外周縁に一体化された厚肉環状部を有した水晶材料から成る検出片と、該薄肉部下面の少なくとも一部に形成され且つ固定電極と対向する位置関係にある可動電極と、該検出片の厚肉環状部下面に形成され且つ可動電極と離間した上部メタライズ電極と、を備え、 前記基台上面の前記下部メタライズ電極と、前記検出部材下面の前記上部メタライズ電極とをロウ材により接合することにより、前記基台上面に前記検出部材を接合した構成を備えたものにおいて、 前記下部メタライズ電極と前記上部メタライズ電極の表層を金層とすると共に、前記底板上面と該金層との間、及び前記検出片下面と該金層との間に、夫々チタン(Ti)層を介在させたことを特徴とする圧力センサ。

IPC (3件)：

G01L 9/12 ,  G01L 9/00 ,  H01L 29/84

FI (3件)：

G01L9/12 ,  G01L9/00 305D ,  H01L29/84 Z

Fターム (17件)：

2F055AA12 ,  2F055BB05 ,  2F055CC02 ,  2F055DD07 ,  2F055EE25 ,  2F055FF38 ,  2F055FF45 ,  2F055GG01 ,  2F055GG12 ,  4M112AA01 ,  4M112BA07 ,  4M112CA01 ,  4M112CA03 ,  4M112CA11 ,  4M112DA18 ,  4M112EA11 ,  4M112FA07

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 静電容量型圧力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-063912   出願人：オムロン株式会社
• 特開昭59-95434号公報
  
• 実開昭63-175833号公報