特許
J-GLOBAL ID：200903087818761965

表面欠陥検査装置、表面欠陥検査方法、その方法をコンピュータに実行させるプログラム

発明者：
小沼 洋介

小沼 洋介 について

, 
鎌田 照己

鎌田 照己 について

, 
崎田 隆二

崎田 隆二 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-186942
公開番号（公開出願番号）：特開2005-300512
出願日： 2004年06月24日
公開日（公表日）： 2005年10月27日
要約：
【課題】低コストでこれまでと同等以上の被検査物表面の欠陥検出能力を備え検査速度を高速化できるようにする。【解決手段】感光体ドラムなどの被検査物12を矢印D方向に回転させながら、光源11から光を照射し、その反射光をエリアセンサカメラの第1カメラ13とラインセンサカメラの第2カメラ14で撮像する。第1カメラ13で撮像した画像を反射光位置算出部16で反射光位置を算出し、この位置変動に基づいて追従制御部17により第2カメラ14の視野における相対的位置関係がほぼ一定となるように、第2カメラ14の位置を位置調整部15によって調整する。第1カメラ13と第2カメラ14との間の角度Eは、第1カメラ13による光の検出処理時間と追従制御部17による追従遅れ時間とに相当する角度とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
回転する被検査物表面からの反射光あるいは拡散光を検出する第1および第2の撮像手段と、 前記第1の撮像手段で検出した光の反射光分布から反射光位置を算出する反射光位置算出手段と、 前記第2の撮像手段の位置を調整する位置調整手段と、 前記反射光位置算出手段で算出された反射光位置に対して前記第2の撮像手段の視野における相対的位置関係がほぼ一定となるように前記位置調整手段を追従制御させる追従制御手段と、 を備え、前記第2の撮像手段は、前記第1の撮像手段に対して前記被検査物の回転下流方向に配置し、第1の撮像手段と第2の撮像手段との間に所定の角度差を設け、該第2の撮像手段によって被検査物表面の欠陥検査を行うことを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (2件)：
G01N21/952 ,  G01B11/30
FI (2件)：
G01N21/952 ,  G01B11/30 A
Fターム (26件)：
2F065AA01 ,  2F065AA49 ,  2F065BB06 ,  2F065BB15 ,  2F065BB16 ,  2F065FF04 ,  2F065FF44 ,  2F065HH03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ00 ,  2F065TT00 ,  2G051AA90 ,  2G051AB07 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CD01 ,  2G051DA08 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA23 ,  2G051EC02
引用特許：
出願人引用 (4件)
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