特許
J-GLOBAL ID：200903087833614138
半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 雅紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-200432
公開番号（公開出願番号）：特開2000-021701
出願日： 1998年07月15日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：
【要約】【課題】 異常が発生したユニットを実時間で把握して正常工程過程から迅速に隔離させ、製品の全体的な生産效率を向上させる半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法を提供する。【解決手段】 設備から各ユニットの可動状態データを受信する段階(S10)と、ユニットに該当する基準データを検索する段階(S20)と、可動状態データと基準データを比較してユニットの中に可動状態データが基準データから離脱したユニットがあるか否かを判断する段階(S30)と、可動状態データが基準データから離脱したユニットがないとS10に進行し、可動状態データが基準データから離脱したユニットがあると、当該ユニットの変数IDキー値を変更する段階(S40)と、変数IDを所定のユニット制御メッセージに保存した後、ユニット制御メッセージを設備にダウンロードしてユニットの可動状態を変更する段階(S50)とで行われる。
請求項（抜粋）：
設備から各ユニットの可動状態データを受信する段階と、前記ユニットに該当する基準データを検索する段階と、前記可動状態データと前記基準データとを比較し、前記可動状態データが前記基準データから逸脱したユニットが前記ユニットの中にあるか否かを判断する段階と、前記可動状態データが前記基準データから逸脱したユニットが前記ユニットの中にないと、基準データを検索する段階に進行し、前記可動状態データが前記基準データから逸脱したユニットが前記ユニットの中にあると、当該ユニットの変数IDキー値を変更する段階と、前記変数IDを所定ユニット制御メッセージに保存した後、前記ユニット制御メッセージを前記設備にダウンロードして前記ユニットの可動状態を変更する段階と、を含むことを特徴とする半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/02 Z
, H01L 21/68 A
