特許
J-GLOBAL ID：200903087834755703
測定方法および測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-095313
公開番号（公開出願番号）：特開2003-294612
出願日： 2002年03月29日
公開日（公表日）： 2003年10月15日
要約：
【要約】【課題】 複数の受光素子により光ビームの暗線の位置の検出を行うエバネッセント波を利用した測定装置において、各受光素子の感度特性に起因する測定誤差を低減して測定精度を向上させる。【解決手段】 誘電体ブロック10と、光ビーム13を発生させるレーザ光源14と、光ビーム13を誘電体ブロック10と金属膜12との界面10bに対して種々の入射角が得られるように入射させる光学系15と、上記界面10bで全反射し平行光化された光ビーム13を検出する光検出手段17とを備えた測定装置において、界面10bで全反射した光ビーム13の強度を一連の時系列で複数回測定し、この測定により得られた複数の測定データを信号処理部20(スムージング手段)によりスムージング(平均化)する。
請求項（抜粋）：
誘電体ブロック、この誘電体ブロックの一面に形成された薄膜層、およびこの薄膜層の表面上に試料を保持する試料保持機構を備えてなる測定チップと、光ビームを発生させる光源と、前記光ビームを前記誘電体ブロックに対して、該誘電体ブロックと前記薄膜層との界面で全反射条件が得られる入射角で入射させる入射光学系と、複数の受光素子からなり、前記界面で全反射した光ビームの強度を測定する光検出手段とを備えてなる測定装置により前記試料の分析を行う測定方法において、前記界面で全反射した光ビームの強度を一連の時系列で複数回測定し、前記測定により得られた複数の測定データをスムージングし、このスムージングした複数の測定データに基づいて前記試料の分析を行うことを特徴とする測定方法。
Fターム (15件)：
2G059AA02
, 2G059BB04
, 2G059BB12
, 2G059DD03
, 2G059DD13
, 2G059EE02
, 2G059GG01
, 2G059GG04
, 2G059JJ11
, 2G059JJ12
, 2G059KK04
, 2G059MM01
, 2G059MM03
, 2G059MM09
, 2G059PP04
