焦電型赤外線検出器とその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小鍜治明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-273591
公開番号（公開出願番号）：特開平8-136343
出願日： 1994年11月08日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：

【要約】【目的】本発明は、焦電体を用いて赤外線を検出する焦電型赤外線検出器に関するもので、出力感度が高く、低コスト、小型化そして生産性に優れた信頼性の高い焦電型赤外線検出器及びその製造方法を提供することを目的とする。【構成】赤外線検出素子は、MgO基板11上に電極12aとしてPt薄膜、その上層の焦電薄膜13、及びそれらの上層に電極12bとしてNiCr薄膜とを有すると共に前記MgO基板上に薄膜形成法により形成された高抵抗体14を有する。高抵抗体が外付けでないのでスペースの省略が出来る。また電極12bの製造の時等に高抵抗体が熱処理され、安定化する。

請求項（抜粋）：

基板上の第一の電極と、この電極上に設けた薄膜焦電体と、さらにこの焦電薄膜上に設けた赤外線透過効果を有する第二の電極とを備えた赤外線検出部と前記基板上に設けた高抵抗体とを具備する焦電型赤外線検出器。

IPC (3件)：

G01J 1/02 , G01J 5/02 , H01L 37/02

引用特許：

審査官引用 (5件)

焦電型赤外線センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-235101 出願人：日本セラミック株式会社
特開昭64-013423
特開平4-357891

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