特許

J-GLOBAL ID：200903087852730327

組成分布の領域分け支援機能を有するX線分析装置

発明者： 佐藤 義通 ,  樋口 誠司
出願人/特許権者： 株式会社堀場製作所
代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-043087
公開番号（公開出願番号）：特開2003-240739
出願日： 2002年02月20日
公開日（公表日）： 2003年08月27日
要約：

【要約】【課題】 試料内の組成分布の領域分けをより迅速かつ簡単に行うことができる組成分布の領域分け支援機能を有するX線分析装置を提供する。【解決手段】 特性X線8の検出エネルギーe1 〜e4 から元素M1 〜M4 の種類、カウント数T1 〜T4 から量を求めて、各微小領域p...のヒストグラムh...を作成して記憶する演算装置12を有し、この演算装置12が、前記測定対象領域3aを表わす画面18を表示させると共に、装置使用者による画面18内の前記測定対象領域20について行なう任意の領域20a〜20eの指定に連動して、この任意の領域20a〜20e内を構成する組成の分布領域21a〜21eを、前記測定対象領域20の全領域について特定し、特定した領域21a〜21eを前記画面に画像として表示する領域分け支援機能を有する。

請求項（抜粋）：

複数の元素を含有する試料の測定対象領域内で、微小領域を走査しながら電子線またはX線を照射したときに生じる特性X線を検出し、それら特性X線の検出値に基づいて試料を構成する組成の分布を解析するX線分析装置において、前記特性X線の検出エネルギーから元素の種類、頻度から量を求めて、各微小領域のヒストグラムを作成して記憶する演算装置を有し、この演算装置が、前記測定対象領域を表わす画面を表示させると共に、装置使用者による画面内の前記測定対象領域について行なう任意の領域の指定に連動して、この任意の領域内を構成する組成の分布領域を、前記測定対象領域の全領域について特定し、特定した領域を前記画面に画像として表示する領域分け支援機能を有することを特徴とする組成分布の領域分け支援機能を有するX線分析装置。

IPC (2件)：

G01N 23/225 ,  G01N 23/223

FI (2件)：

G01N 23/225 ,  G01N 23/223

Fターム (13件)：

2G001AA01 ,  2G001AA03 ,  2G001BA04 ,  2G001BA05 ,  2G001CA01 ,  2G001EA03 ,  2G001FA06 ,  2G001GA06 ,  2G001GA08 ,  2G001JA13 ,  2G001JA20 ,  2G001KA01 ,  2G001LA03

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 画像処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-301701   出願人：日本電子株式会社
• 試料に含まれる物質の同定方法および分布測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-248845   出願人：株式会社堀場製作所