薬液調製装置およびその方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田英彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-027320
公開番号（公開出願番号）：特開2003-229406
出願日： 2002年02月04日
公開日（公表日）： 2003年08月15日
要約：

【要約】【課題】速やかに均一な混合液が得られる溶液(薬液)の調製装置を提供する。【解決手段】所定濃度の成分を含有する薬液を調製する装置2を、薬液の有効成分含有溶液とその希釈用液とを混合するための混合槽42と、この混合槽42内の液体を混合槽42から流出させ混合槽42に返流させる循環経路62と、この循環経路62の返流側に連結されて前記混合槽42内に配置され、返流すべき液体を前記混合槽42内の液面下において槽内壁の1箇所あるいは2箇所以上を指向して吐出可能であって、かつ当該返流液体の前記吐出指向部位を当該槽内壁の周回りに沿って一回転方向であるいは交互に異なる回転方向で移動可能な吐出部71で構成するようにする。

請求項（抜粋）：

所定濃度の成分を含有する薬液を調製する装置であって、薬液の有効成分含有溶液と、その希釈用液とを混合するための混合槽と、この混合槽内の液体を混合槽から流出させ混合槽に返流させる循環経路と、この循環経路の返流側に連結されて前記混合槽内に配置され、返流すべき液体を前記混合槽内の液面下において吐出可能な吐出口を有する吐出部、とを備え、この吐出口による前記返流液体の指向性が以下の何れかである、薬液調製装置。(a)一または二以上の前記吐出口が、槽内壁の2箇所以上を指向してほぼ水平から斜め下方に返流液体を吐出可能である。(b)二以上の前記吐出口は、それぞれ槽内壁の異なる箇所を指向してほぼ水平に返流液体を吐出可能である。(c)二以上の前記吐出口は、それぞれ槽内壁の異なる箇所を指向して斜め上方に返流液体を吐出可能である。

IPC (4件)：

H01L 21/306 , G03F 7/42 , H01L 21/027 , H01L 21/304 648

FI (4件)：

G03F 7/42 , H01L 21/304 648 G , H01L 21/306 J , H01L 21/30 569 Z

Fターム (6件)：

2H096AA25 , 2H096GA08 , 2H096GA17 , 2H096LA03 , 5F043EE31 , 5F046LA19

引用特許：

審査官引用 (5件)

調合タンク
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-261256 出願人：株式会社日立製作所, 日立デバイスエンジニアリング株式会社
クロムめっき液の濃度測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-051548 出願人：凸版印刷株式会社
特開昭62-269735

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