特許
J-GLOBAL ID:200903087889030295
レジスト組成物
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-154984
公開番号(公開出願番号):特開2000-347402
出願日: 1999年06月02日
公開日(公表日): 2000年12月15日
要約:
【要約】【課題】耐衝撃性および耐熱性、並びに電気的絶縁信頼性等を両立させ、さらに作業性に優れた、アルカリ水溶液により現像可能なソルダーレジストの提供。【解決手段】(1)エポキシ化合物および不飽和モノカルボン酸からなる反応物と無水多塩基酸との反応生成物、(2)光重合開始剤、(3)1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物からなる熱硬化性成分、(4)カルボキシル基を有する弾性重合体微粒子、並びに(5)揮発性有機溶剤を配合してなるレジスト組成物。
請求項(抜粋):
(1)エポキシ化合物および不飽和モノカルボン酸からなる反応物と無水多塩基酸との反応生成物、(2)光重合開始剤、(3)1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物からなる熱硬化性成分、(4)カルボキシル基を有する弾性重合体微粒子、並びに(5)揮発性有機溶剤を配合してなるレジスト組成物。
IPC (7件):
G03F 7/027 515
, C08F 2/48
, C08G 59/14
, C08G 59/42
, C09D 11/00
, G03F 7/004 501
, G03F 7/028
FI (7件):
G03F 7/027 515
, C08F 2/48
, C08G 59/14
, C08G 59/42
, C09D 11/00
, G03F 7/004 501
, G03F 7/028
Fターム (43件):
2H025AA00
, 2H025AA10
, 2H025AA14
, 2H025AA20
, 2H025AB15
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC74
, 2H025BC85
, 2H025CC03
, 2H025CC08
, 2H025CC20
, 2H025FA03
, 2H025FA17
, 4J011QA37
, 4J011QB19
, 4J011QB20
, 4J011QB22
, 4J011QC05
, 4J011RA05
, 4J011RA11
, 4J011RA12
, 4J011SA01
, 4J011SA21
, 4J011SA51
, 4J011SA63
, 4J011SA64
, 4J011SA90
, 4J011TA07
, 4J011UA01
, 4J036AD08
, 4J036AD20
, 4J036AF01
, 4J036AF06
, 4J036AH18
, 4J036CA20
, 4J036CA21
, 4J036HA02
, 4J036JA09
, 4J039AE05
, 4J039CA07
, 4J039EA05
, 4J039GA17
引用特許:
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