特許
J-GLOBAL ID：200903087919991236

機能素子およびその製造方法、流体吐出ヘッド、並びに印刷装置

発明者：
山口 征也

山口 征也 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-198989
公開番号（公開出願番号）：特開2006-021332
出願日： 2004年07月06日
公開日（公表日）： 2006年01月26日
要約：
【課題】開口を封止して中空構造部分を形成する場合であっても、当該開口の確実な封止を可能とし、その中空構造部分による機能実現の確実化を図ることのできる機能素子を提供する。【解決手段】開口4を封止することで形成される中空構造部分2を有した機能素子1において、前記開口4を物理蒸着によって成膜される封止膜6で封止する。そして、前記封止膜6は、前記物理蒸着の際の成膜温度または成膜後のアニール温度が、当該封止膜6の成膜材料のリフロー温度以上に昇温することにより形成する。これにより、前記封止膜6の成膜材料が溶融して表面張力による流動を起こすようにして、前記開口4内への封止膜6の成膜材料の充填を容易にする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
開口が物理蒸着によって成膜された封止膜に封止されて中空構造部分が形成されるとともに、 前記封止膜は、前記物理蒸着の際の成膜温度または成膜後のアニール温度を当該封止膜の成膜材料のリフロー温度以上に昇温することにより形成されている ことを特徴とする機能素子。
IPC (6件)：
B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00 ,  C23C 14/34 ,  B41J 2/16
FI (5件)：
B41J3/04 103A ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  C23C14/34 K ,  B41J3/04 103H
Fターム (19件)：
2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG54 ,  2C057AN01 ,  2C057AN05 ,  2C057AP02 ,  2C057AP24 ,  2C057AP31 ,  2C057AP35 ,  2C057AP52 ,  2C057AP53 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA15 ,  4K029BA01 ,  4K029BD00 ,  4K029CA05 ,  4K029EA08 ,  4K029GA01
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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