特許
J-GLOBAL ID:200903087923355263
導電性部材の製造方法
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
吉田 勝広
, 近藤 利英子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-094777
公開番号(公開出願番号):特開2004-006290
出願日: 2003年03月31日
公開日(公表日): 2004年01月08日
要約:
【課題】簡易な装置及び方法により良好な特性の膜(薄膜)を有する導電性部材の製造方法及び良好な特性の膜を有する導電性部材の提供。【解決手段】基材表面に導電膜を具備している導電性部材の製造方法であって、(i)少なくとも多孔性表面を有している基材の、該多孔性表面にコロイド溶液を適用してコロイドを含む層を形成する工程と、(ii)該コロイドを含む層を乾燥して導電膜とする工程、とを有することを特徴とする導電性部材の製造方法。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
基材表面に導電膜を具備している導電性部材の製造方法であって、(i)少なくとも多孔性表面を有している基材の、該多孔性表面にコロイド溶液を適用してコロイドを含む層を形成する工程と、(ii)該コロイドを含む層を乾燥して導電膜とする工程、とを有することを特徴とする導電性部材の製造方法。
IPC (8件):
H01B13/00
, B05D5/12
, C23C26/00
, H01L21/288
, H01L21/3205
, H01L21/336
, H01L29/786
, H01L51/00
FI (11件):
H01B13/00 503Z
, B05D5/12 B
, C23C26/00 B
, H01L21/288 M
, H01L21/288 Z
, H01L21/88 B
, H01L21/88 M
, H01L29/28
, H01L29/78 618B
, H01L29/78 616K
, H01L29/78 617J
Fターム (83件):
4D075BB24Z
, 4D075CA13
, 4D075CA22
, 4D075DA04
, 4D075DA06
, 4D075DA25
, 4D075DB13
, 4D075DB14
, 4D075DB18
, 4D075DB48
, 4D075DB55
, 4D075EA12
, 4D075EB14
, 4D075EB19
, 4D075EB22
, 4D075EC07
, 4D075EC08
, 4D075EC10
, 4K044AA12
, 4K044AA16
, 4K044AB02
, 4K044AB08
, 4K044BA08
, 4K044BA12
, 4K044BA19
, 4K044BB01
, 4K044BB10
, 4K044BB11
, 4K044BC14
, 4K044CA29
, 4K044CA53
, 4K044CA62
, 4M104AA10
, 4M104BB05
, 4M104BB06
, 4M104BB07
, 4M104BB08
, 4M104BB09
, 4M104CC05
, 4M104DD51
, 4M104DD61
, 4M104DD79
, 4M104GG01
, 4M104GG08
, 4M104HH08
, 4M104HH14
, 4M104HH16
, 5F033GG03
, 5F033GG04
, 5F033HH07
, 5F033HH13
, 5F033HH14
, 5F033PP26
, 5F033QQ73
, 5F033VV06
, 5F033VV15
, 5F033XX03
, 5F033XX10
, 5F033XX13
, 5F033XX33
, 5F110AA30
, 5F110CC05
, 5F110DD01
, 5F110DD02
, 5F110DD12
, 5F110EE02
, 5F110EE42
, 5F110FF01
, 5F110FF27
, 5F110GG05
, 5F110GG28
, 5F110GG29
, 5F110GG42
, 5F110HK02
, 5F110HK32
, 5F110NN02
, 5F110NN27
, 5F110NN33
, 5F110QQ01
, 5F110QQ06
, 5G307GA06
, 5G307GC02
, 5G323AA01
引用特許:
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