特許

J-GLOBAL ID：200903087975531213

光学式エンコーダ

発明者： 松浦 辰彦
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-028596
公開番号（公開出願番号）：特開平9-196706
出願日： 1996年01月23日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：

【要約】【課題】 難しいギャップ調整やアラインメント調整を要せず、高分解能特性を得ることを可能とした光学式エンコーダを提供する。【解決手段】 第1の部材10には反射型のメインスケールG1が設けられ、第2の部材20には、メインスケールG1を照射して反射像パターンを生じさせる光照射手段として拡散光源40と、その拡散光を受けて二次光源アレイを構成する透過型の光源用インデックススケールG2、及びメインスケールG1から得られる反射像パターンを検出する受光手段としてのフォトダイオードアレイPDAが設けられる。フォトダイオードアレイPDAと光源用インデックススケールG2は、それらの基板がフォトダイオードアレイPDAの受光面と光源用インデックススケールG2の透過型格子面を揃えて一体に接合されている。

請求項（抜粋）：

所定ギャップをおいて相対移動可能に配置された第1,第2の部材の相対変位を光学的に測定するエンコーダにおいて、前記第1の部材は、反射部と非反射部が所定ピッチで配列されて反射型格子を構成するメインスケールを有し、前記第2の部材は、前記メインスケールを照射して所定の反射像パターンを生じさせる光照射手段と、前記メインスケールから得られる反射像パターンを検出する受光手段とを有し、前記光照射手段は、拡散光を出す光源と、光透過部と不透過部が所定ピッチで配列されて透過型格子を構成して前記メインスケールを照射する二次光源アレイとなる光源用インデックススケールとから構成され、前記受光手段は、半導体基板に複数の受光素子が配列形成されて前記反射像パターンを前記相対変位に応じて変調した変位出力信号を得ると共に隣接する前記受光素子間で異なる位相の前記変位出力信号を得る受光素子アレイにより構成され、且つ、前記受光素子アレイと前記光源用インデックススケールは、前記受光素子アレイの受光面と前記光源用インデックススケールの透過型格子面を揃えて一体に構成されていることを特徴とする光学式エンコーダ。

IPC (2件)：

G01D 5/38 ,  G01B 11/00

FI (2件)：

G01D 5/38 A ,  G01B 11/00 G

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 光電測長または測角装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-145025   出願人：ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング