特許
J-GLOBAL ID：200903088007625758
フラットパネルディスプレイの製造方法、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板の外面機械研磨装置及びフラットパネルディスプレイ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
保立 浩一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-140865
公開番号（公開出願番号）：特開2006-243754
出願日： 2006年05月19日
公開日（公表日）： 2006年09月14日
要約：
【課題】FPDの薄型化を可能にする実用的な技術を提供する。【解決手段】一対のガラス基板1の一方に電極11を形成してガラス基板1をシール材12を介して貼り合わせ、内部を封止した後、ガラス基板1の外面を機械研磨して厚さを薄くする。ノズル4に対して相対的に機械的に移動させながら、フッ酸より成る溶出液Lをノズル4からガラス基板1の外面に向けて噴射し、自重による加速度より大きな加速度を付けて0.5kg/cm2〜3.5kg/cm2の範囲で圧力で外面に吹き付ける。外面は溶出液Lにより溶出され、溶出液の衝撃による物理的作用を利用して外面が研磨される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
一方又は双方がガラス基板である一対の基板の少なくとも一方に電極を形成する電極形成工程と、電極形成工程の後に一対の基板をシール材を介して貼り合わせ内部を封止する封止工程と、封止工程の後に、ガラス基板である一方又は双方の基板の外面を機械的に研磨して厚さを薄くする外面機械研磨工程とを含むフラットパネルディスプレイの製造方法であって、
前記外面機械研磨工程は、前記ガラス基板の外面の材料を溶出させる溶出液を前記外面に向けて噴射することで自重による加速度より大きな加速度を付けて溶出液を前記外面に吹き付けて前記外面を衝撃し、前記一方又は双方の基板を、溶出液を噴射するノズルの複数の噴射孔に対して相対的に機械的に移動させながら、溶出液により前記外面を溶かし出し溶出液による衝撃の物理的作用を利用して研磨する工程であり、
前記外面機械研磨工程では、前記複数の噴射孔から噴射されて広がった溶出液のその広がりが前記ガラス基板の外面上で重ならないようにして前記ガラス基板の外面を衝撃し、前記相対的な移動の結果、隣接するノズルから噴射された溶出液の広がりの端部において前記ガラス基板が重複して溶出液による衝撃を受けるようにすることで、前記ガラス基板の外面の各点を均一に溶出液により衝撃して研磨を行うことを特徴とするフラットパネルディスプレイの製造方法。
IPC (3件)：
G09F 9/00
, G02F 1/133
, C03C 15/00
G09F9/00 338
, G02F1/1333 500
, C03C15/00 C
2H090JA09
, 2H090JB02
, 2H090JC01
, 4G059AA01
, 4G059AA08
, 4G059AC03
, 4G059BB14
, 5G435AA17
, 5G435AA18
, 5G435BB05
, 5G435BB06
, 5G435BB12
, 5G435KK05
, 5G435KK10
