表面検査装置及び方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-191761
公開番号（公開出願番号）：特開2002-078683
出願日： 2001年06月25日
公開日（公表日）： 2002年03月19日
要約：

【要約】【課題】例えば皮膚のような表面の検査方法及び装置を提供する。【解決手段】表面(9)を検査するよう設計された装置は、表面(9)で反射された光ビーム(17)の経路中に配置された偏光解析素子又は検光子(14)と、表面(9)によって検光子(14)の下流側に反射されたビーム(17)の経路中に配置されたディジタル画像撮像手段(13)と、少なくとも1つの画像の複数の画素から明るさ及び光強度を計算できる処理ユニット(15)とを有している。

請求項（抜粋）：

表面(9 )を検査するよう設計された装置であって、前記表面で反射された光ビーム(17)の経路中に配置された偏光解析素子又は検光子(14)と、前記表面によって検光子の下流側に反射されたビームの経路中に配置されたディジタル画像撮像手段(13)と、前記表面の少なくとも2つの画像の画素から前記表面の複数の箇所のブライトネス及び強度を計算できる処理ユニット(15)と有することを特徴とする装置。

IPC (5件)：

A61B 5/00 , A61B 5/107 , A61B 10/00 , G01N 33/50 , G06T 1/00 340

FI (5件)：

A61B 5/00 M , A61B 10/00 E , G01N 33/50 Q , G06T 1/00 340 A , A61B 5/10 300 Q

Fターム (23件)：

2G045AA40 , 2G045CB09 , 2G045FA15 , 2G045FA19 , 2G045GC30 , 2G045JA07 , 4C038VA04 , 4C038VB22 , 4C038VC02 , 4C038VC05 , 5B057AA07 , 5B057BA02 , 5B057BA11 , 5B057CA01 , 5B057CA08 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057CB18 , 5B057CC03 , 5B057DA20 , 5B057DB06 , 5B057DB09 , 5B057DC30

引用特許：

審査官引用 (5件)

特公平6-095996
欠陥検出方法及びその装置、磁気ヘッド検査方法及びその装置並びに磁気ヘッド製造ライン
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-289898 出願人：株式会社日立製作所
特公平2-011849

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