特許

J-GLOBAL ID：200903088054552866

交換結合膜、磁気抵抗効果素子および磁気抵抗効果素子の製造方法

発明者： 福家 ひろみ ,  上口 裕三 ,  橋本 進 ,  船山 知己 ,  斉藤 和浩 ,  岩崎 仁志 ,  佐橋 政司
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-073314
公開番号（公開出願番号）：特開平9-237716
出願日： 1995年12月13日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：

【要約】【課題】 良好な交換結合力を有し、かつ耐食性、熱安定性に優れた交換結合膜、および交換結合膜を具備した磁気抵抗効果素子を提供する。【解決手段】 基板上に形成された反強磁性体膜と、この反強磁性体膜上に積層形成された強磁性体膜とを具備する交換結合膜であって、反強磁性体膜は少なくとも一部が面心立方晶系の結晶構造を有し、かつ組成がΙr<SB>x </SB>Mn<SB>100-x </SB>(2≦x≦80at%)で表されるΙrMn合金、または組成が(Ιr<SB>x'</SB>Mn<SB>1-x'</SB>)<SB>100-y </SB>Fe<SB>y </SB>(0.02≦x′≦0.80、 0<y<30at%)で表されるIrMnFe合金からなる。交換結合膜をサンドイッチ膜構造の磁気抵抗効果膜に適用した磁気抵抗効果素子は、一対のハード膜12上に形成される。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された反強磁性体膜と、前記反強磁性体膜上に積層形成された強磁性体膜とを具備する交換結合膜であって、前記反強磁性体膜は、少なくとも一部が面心立方晶系の結晶構造を有し、かつ組成が一般式Ιr<SB>x </SB>Mn<SB>100-x </SB>(式中、xは at%で 2≦x≦80を満足する値である)で表されるΙrMn合金、または少なくとも一部が面心立方晶系の結晶構造を有し、かつ組成が一般式(Ιr<SB>x'</SB>Mn<SB>1-x'</SB>)<SB>100-y </SB>Fe<SB>y </SB>(式中、x′は原子比であって0.02≦x′≦0.80を満足する数値、yは at%で 0<y<30を満足する値である)で表されるIrMnFe合金からなることを特徴とする交換結合膜。

IPC (4件)：

H01F 10/30 ,  H01L 43/08 ,  H01L 43/10 ,  H01L 43/12

FI (4件)：

H01F 10/30 ,  H01L 43/08 Z ,  H01L 43/10 ,  H01L 43/12

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平4-162207
  
• 交換結合膜および磁気抵抗効果素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-026775   出願人：株式会社東芝
• 特開昭59-210630
  
• 特開平4-162207
  
• 特開昭59-210630