特許

J-GLOBAL ID：200903088059901630

多層型パワーモジュールの放熱性能検査方法及びその装置

発明者： 小寺 淳也
出願人/特許権者： トヨタ自動車株式会社
代理人 (6件)： 萼 経夫 ,  宮崎 嘉夫 ,  小野塚 薫 ,  田上 明夫 ,  ▲高▼ 昌宏 ,  中村 壽夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-209777
公開番号（公開出願番号）：特開2008-039406
出願日： 2006年08月01日
公開日（公表日）： 2008年02月21日
要約：

【課題】多層型パワーモジュールの放熱性能検査を、簡単かつ正確に行う。【解決手段】過渡熱抵抗測定器26によって、検査対象の多層型パワーモジュール20に通電し、通電前後で変化する素子10のしきい値電圧(Vth)を通電時間(T)に関連付けて測定し、通電時間毎に通電前後の前記しきい値電圧の変化量(ΔVth)を求める。そして、判定手段28では、特定の二つの通電時間(Tn、Tn+1)において生じたしきい値電圧の変化量の差(ΔVthn+1-ΔVthn)を、当該特定の二つの通電時間の差(Tn+1 -Tn)で除した算出値を、検査対象の多層型パワーモジュール20を構成する複数の部材のうち、特定の部材の、放熱性欠陥の有無を把握するための判断資料として用いる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

素子に複数の部材を多層に接合した多層型パワーモジュールの放熱性能検査方法であって、 検査対象の多層型パワーモジュールに通電し、通電前後で変化する前記素子のしきい値電圧を通電時間に関連付けて測定し、通電時間毎に通電前後の前記しきい値電圧の変化量を求め、特定の二つの通電時間において生じた前記しきい値電圧の変化量の差を、前記特定の二つの通電時間の差で除した算出値から、前記検査対象の多層型パワーモジュールを構成する複数の部材のうち、特定の部材の、放熱性欠陥の有無を把握することを特徴とする多層型パワーモジュールの放熱性能検査方法。

IPC (3件)：

G01N 25/72 ,  G01R 31/26 ,  G01N 27/00

FI (3件)：

G01N25/72 F ,  G01R31/26 A ,  G01N27/00 Z

Fターム (24件)：

2G003AA01 ,  2G003AB04 ,  2G003AD06 ,  2G003AH01 ,  2G003AH02 ,  2G003AH03 ,  2G003AH08 ,  2G003AH10 ,  2G040AB08 ,  2G040BA18 ,  2G040BA25 ,  2G040CA22 ,  2G040EA01 ,  2G040EB02 ,  2G060AA09 ,  2G060AE33 ,  2G060AF15 ,  2G060EA07 ,  2G060EB05 ,  2G060EB06 ,  2G060EB07 ,  2G060HC09 ,  2G060HC10 ,  2G060KA15

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 実装部品検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-181761   出願人：名古屋電機工業株式会社