特許

J-GLOBAL ID：200903088132827214

酸化亜鉛単結晶の製造方法

発明者： 佐藤 秀人
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 西澤 均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-147277
公開番号（公開出願番号）：特開2007-314386
出願日： 2006年05月26日
公開日（公表日）： 2007年12月06日
要約：

【課題】陰イオンをOサイトへ添加することが可能で、電気特性や光学特性等の改善を図ることが可能な酸化亜鉛単結晶の製造方法を提供する。【解決手段】液相エピタキシャル法を用いた酸化亜鉛単結晶の製造方法において、亜鉛を含む原料溶液2として、リン酸塩を含む原料溶液2を用い、液相で酸化亜鉛単結晶をエピタキシャル成長させる。また、リン酸塩として、亜鉛のリン酸塩および/または亜鉛以外の物質のリン酸塩を用いる。また、リン酸塩として、Zn3(PO4)2を用いる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

液相エピタキシャル法を用いた酸化亜鉛単結晶の製造方法において、 亜鉛を含む原料溶液として、リン酸塩を含む原料溶液を用い、液相で酸化亜鉛単結晶をエピタキシャル成長させること を特徴とする酸化亜鉛単結晶の製造方法。

IPC (4件)：

C30B 29/16 ,  C30B 19/04 ,  H01L 21/368 ,  H01L 33/00

FI (4件)：

C30B29/16 ,  C30B19/04 ,  H01L21/368 Z ,  H01L33/00 D

Fターム (20件)：

4G077AA02 ,  4G077BB07 ,  4G077CG02 ,  4G077CG07 ,  4G077HA02 ,  4G077HA05 ,  4G077HA11 ,  4G077QA04 ,  4G077QA12 ,  5F041CA41 ,  5F041CA63 ,  5F053AA03 ,  5F053DD20 ,  5F053FF01 ,  5F053GG01 ,  5F053HH01 ,  5F053KK10 ,  5F053LL01 ,  5F053LL04 ,  5F053RR20

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 酸化亜鉛材料の育成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-171927   出願人：国立大学法人東北大学