特許
J-GLOBAL ID:200903088137552140

試料解析装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-050294
公開番号(公開出願番号):特開2001-201468
出願日: 2000年01月21日
公開日(公表日): 2001年07月27日
要約:
【要約】【課題】 検出機構が小形、簡略でコンパクトにできる試料解析装置を提供する。【解決手段】 試料1に対してX線を照射するX線銃2と、それぞれの一端側開口部が試料1のX線照射点Pを頂点とし、かつ照射軸Lを軸芯とする円錐面に配列されていて、試料1からの信号X線入射し、他端側開口部は入射した信号X線を前記照射軸Lの周囲に出射させるよう配列された多数本のX線導波細管3からなるX線導波細管体3Dと、このX線導波細管体3Dから出射される信号X線を検出するX線検出器4とを備えたものである。したがってX線検出機構が小形化、簡略化でき、コンパクトで可搬形の試料解析装置が実現できる。
請求項(抜粋):
試料に対してX線を照射するX線発生器と、それぞれの一端側開口部が試料のX線照射点を頂点とする円錐面に沿って配列されていて試料からの信号X線を入射し、他端側開口部は入射した信号X線を前記照射軸の周囲に出射させるよう配列された多数本のX線導波細管を組み合わせたX線導波細管体と、このX線導波細管体から出射される信号X線を検出するX線検出器とを備え、X線検出器からの出力信号にて試料を解析するようにしたことを特徴とする試料解析装置。
Fターム (13件):
2G001AA01 ,  2G001BA04 ,  2G001CA01 ,  2G001DA02 ,  2G001DA06 ,  2G001GA01 ,  2G001GA13 ,  2G001JA04 ,  2G001KA01 ,  2G001LA01 ,  2G001LA02 ,  2G001LA03 ,  2G001SA01
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 特表平7-504491
  • 特開昭62-240809
  • インライン蛍光X線膜厚モニタ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平10-022250   出願人:セイコーインスツルメンツ株式会社

前のページに戻る