特許
J-GLOBAL ID：200903088160031425
導波路型光スイッチ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
春日 讓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-199899
公開番号（公開出願番号）：特開2000-028935
出願日： 1998年07月15日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：
【要約】【課題】寸法精度が高く、小形で遠隔操作に適した、挿入損失の小さい導波路型光スイッチの製造方法を実現する。【解決手段】加工する深さ寸法より幅寸法が狭い加工部分12eと、この狭い加工部分を間にして加工する深さ寸法より広い幅寸法を有する2つの加工部分11f、15とに対して異方性ドライエッチングを行う。広い幅寸法の加工部分11f、15に分離層2に至るまでの穴が形成された時点で、狭い加工部分12eには穴が形成されていないときに異方性ドライエッチングを停止する。次に、広い幅寸法の加工部分11f、15にエッチング液を供給し、連結部材8と基板1との間の分離層2aを部分的に残留させた状態で狭い加工部分の穴12eの下部の分離層2bを完全に除去する。そして、異方性ドライエッチングにより狭い加工部分の穴12eを貫通させ連結部材8の下部の分離層2aを完全に除去する。
請求項（抜粋）：
入力される光信号の光路を切り替える導波路型光スイッチであって、石英ガラス基板の上に形成された分離層の上部に形成され、互いに平行かつその先端が連結部材により連結された複数の片持ち梁と、少なくとも一つの片持ち梁の上に形成された石英ガラス光導波路コアと、この光導波路コアに対向し、固定された複数の光導波路コアと、上記片持ち梁を変形させるスイッチ駆動手段とを有する導波路型光スイッチにおいて、上記石英ガラス基板の表面の、上記連結部材が対向する部分に、凹部が形成されていることを特徴とする導波路型光スイッチ。
Fターム (7件)：
2H041AA15
, 2H041AB19
, 2H041AB38
, 2H041AC04
, 2H041AZ01
, 2H041AZ05
, 2H041AZ08
