蒸着材料とその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：穂上照忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-210137
公開番号（公開出願番号）：特開平6-057417
出願日： 1992年08月06日
公開日（公表日）： 1994年03月01日
要約：

【要約】【目的】プラスチック基材等の上に酸化珪素系薄膜を形成するために使用する蒸着材料及びその製造方法を提供する。【構成】SiとSi酸化物からなり、多孔質構造を有する蒸着材料であって、見掛け比重がこの蒸着材料の真比重よりも小さい蒸着材料。この蒸着材料はSi粉末とSi酸化物を含有する粉末を混合し、水を添加して混練し、乾燥・多孔質化した後、焼結する方法で製造する。混合粉末の平均粒径が50μm を超える場合は、予め解砕して粒径を50μm 以下とする。【効果】この蒸着材料は蒸発特性が良好で、これを使用することにより、例えば電子ビームの出力を上げて蒸着速度を大きくすることができる。この蒸着材料を用いて得られる薄膜は、透明で、酸素透過性が小さいので、食品包装材料として好適である。

請求項（抜粋）：