特許
J-GLOBAL ID：200903088207385964

走査電子顕微鏡を用いた検査装置および検査方法

発明者：
郡司 康弘

郡司 康弘 について

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二宮 拓

二宮 拓 について

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宮井 裕史

宮井 裕史 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-293397
公開番号（公開出願番号）：特開2000-187012
出願日： 1999年10月15日
公開日（公表日）： 2000年07月04日
要約：
【要約】【課題】光学画像では検出困難な欠陥を電子ビーム画像を用いて高精度に検出すると同時に、その際問題となる検査の高速性及び検査画面の視認性や正確性に優れた走査電子顕微鏡を用いた検査装置および検査方法を提供する。【解決手段】試料を移動させながら電子ビームを走査して発生する二次荷電粒子の検出信号に基づいて試料のパターン上の欠陥を検出する電子顕微鏡を用いた検査装置において、前記検出信号に基づいて形成された画像を常時所定の座標系に基づいて表示する表示手段を備える。
請求項（抜粋）：
一次電子ビームを発生させる電子源と、該一次電子ビームを集束するレンズ手段と、試料を載置する試料台と、前記集束された一次電子ビームを前記試料上で走査させる一次電子ビーム走査手段と、前記試料から発生する二次荷電粒子を検出する検出器と、該検出器からの信号に基づいて前記試料上の第一の領域の画像信号を記憶する記憶手段と、該記憶手段に記憶された前記第一の領域の画像を前記試料上の前記第一の領域と同じパターンが形成された第二の領域の画像と比較する画像比較手段と、該比較手段の比較結果から前記試料上の欠陥を判別する欠陥判別手段とを備えた走査電子顕微鏡を用いた検査装置において、前記一次電子ビームの走査の方向によらず、前記検出器からの信号に基づいて形成された画像を常時所定の座標系に基づいて表示する表示手段を備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡を用いた検査装置。
IPC (2件)：
G01N 23/225 ,  H01J 37/22 502
FI (2件)：
G01N 23/225 ,  H01J 37/22 502 H
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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