特許
J-GLOBAL ID：200903088248232790
粘着シート
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
松浦 孝
, 小倉 洋樹
, 野中 剛
, 虎山 滋郎
, 坪内 伸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-049575
公開番号（公開出願番号）：特開2007-297591
出願日： 2007年02月28日
公開日（公表日）： 2007年11月15日
要約：
【課題】粘着力に優れ、ウエハ回路面等に対する凹凸追従性があって、研削時の研削水等のウエハ回路面への浸入を防止可能であり、なおかつ粘着剤残渣を生じさせない粘着シートを実現する。【解決手段】粘着シートは、基材と、基材の表面上に形成されたエネルギー線硬化型粘着剤層とを含む。エネルギー線硬化型粘着剤層においては、極性が高く、重合反応等に悪影響を及ぼすことのないジアルキル(メタ)アクリルアミドをモノマーとして用いたエネルギー線硬化型アクリル共重合体と、極性の高いエネルギー線硬化型ウレタンアクリレートオリゴマーとが併用されている。このため、粘着シートは、ウエハ回路面等に対する凹凸追従性能、粘着力に優れ、研削時の研削水等のウエハ回路面への浸入を防止可能であるとともにカーフシフトを発生させず、なおかつ粘着剤残渣を生じさせない。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基材と、前記基材の表面上に形成されたエネルギー線硬化型粘着剤層とを備えた粘着シートであって、前記エネルギー線硬化型粘着剤層が、
炭素数が4以下のアルキル基を有するジアルキル(メタ)アクリルアミドを1〜30重量%共重合してなり、かつ側鎖に不飽和基を有するエネルギー線硬化型アクリル共重合体と、
ウレタンアクリレートとを含むことを特徴とする粘着シート。
IPC (4件)：
C09J 7/02
, C09J 133/24
, C09J 175/16
, C09J 4/00
C09J7/02 Z
, C09J133/24
, C09J175/16
, C09J4/00
4J004AA10
, 4J004AA14
, 4J004AB06
, 4J004CA01
, 4J004CC02
, 4J004FA05
, 4J004FA08
, 4J040DF021
, 4J040DF091
, 4J040FA291
, 4J040JB07
, 4J040KA13
, 4J040KA16
, 4J040MA04
, 4J040NA20
, 4J040PA23
