荷電粒子線装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-063570
公開番号（公開出願番号）：特開2007-242432
出願日： 2006年03月09日
公開日（公表日）： 2007年09月20日
要約：

【課題】荷電粒子線装置における制御対象デバイスの設定値の変更スピード(単位時間あたりの変更量)を動的に制御することにより、最適な設定値を探索するときの操作性を向上させること。【解決手段】グラフィックユーザーインターフェース32は、ユーザーがその位置を移動操作可能なように設けられたマーカーを有するスライダーを備える。マーカーの基準位置からの変位量に応じてデバイス設定値の変更スピードが変化する。ユーザーがスライダー上のマーカー位置の移動操作をアクティブにすると、取得したマーカーの基準位置からの変位量を変換手段35により変更スピードの値に換算する。この換算値に基づいたコマンドをタイマー37で設定した一定時間間隔でデバイス31に送信する。マーカー位置の移動操作がアクティブな間、再取得されたマーカーの基準位置からの変位量に基づいて更新したコマンドをデバイス31送信する処理を継続する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

試料に荷電粒子線を照射し、試料の観察及び/又は分析及び/又は加工を行う荷電粒子線装置であって、前記荷電粒子線装置の制御を行うために前記荷電粒子線装置に備えられている少なくとも一つの制御対象となるデバイスと、前記デバイスの設定値を変更して前記デバイスを制御するための操作手段とを備え、前記操作手段は、ユーザーがその位置を移動操作可能なように設けられたマーカーを有するグラフィックユーザーインターフェース上のスライダーと、前記マーカーの位置移動操作を行うためのポインティングデバイスと、前記スライダーが操作可能状態にあることを確認する確認手段と、前記確認手段からの指示によって前記スライダー上における前記マーカーの基準位置からの変位量を取得する取得手段と、前記取得手段によって取得された前記マーカーの基準位置からの変位量を前記設定値の変更スピードに変換する変換手段と、前記変換手段によって変換された前記変更スピードに基づいて前記デバイスを制御するために前記デバイスとの通信を行う通信手段とを備え、前記操作手段により前記設定値の変更スピードを変更するスピード変更操作を行いながら前記デバイスの前記設定値の変更を行う、ことを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (2件)：

H01J 37/20 , H01J 37/24

FI (2件)：

H01J37/20 C , H01J37/24

Fターム (5件)：

5C001AA01 , 5C001AA03 , 5C001BB07 , 5C001CC01 , 5C001DD00

引用特許：

出願人引用 (2件)

特許第3201926号公報
走査型電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-318251 出願人：株式会社ニコン

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