特許

J-GLOBAL ID：200903088284384555

半導体デバイス測定装置

発明者： 高橋 敏行 ,  古市 卓司 ,  古田 経夫
出願人/特許権者： アンリツ株式会社
代理人 (1件)： 西村 教光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-076545
公開番号（公開出願番号）：特開2001-264395
出願日： 2000年03月17日
公開日（公表日）： 2001年09月26日
要約：

【要約】【課題】 半導体デバイス測定にかかる複数の機器同士を短時間で同期制御でき測定を効率的に行えること。【解決手段】 信号発生器11には、設定テーブル13aが設けられ、発生出力する測定用信号の周波数範囲と周波数ステップ、各周波数での出力レベルが格納される。送信機テスタ21の設定テーブル23aには、測定周波数が格納される。これらテーブル内容は測定開始前に処理手段1からGP-IBインターフェース3を介しコマンド転送で設定される。測定開始後、信号発生器11と無線機テスタ21は、それぞれある周波数範囲での動作を実行すると他方にトリガを送出して測定周波数をステップ単位で可変していき、半導体デバイスの特性を設定した周波数範囲全域に渡り連続的に自動測定する。各装置は、トリガの入力に基づき1つの手順を順次実行していくため、短時間での特性測定を可能にする。

請求項（抜粋）：

測定用信号を発生し半導体デバイスに出力する信号発生器(11)と、前記測定用信号の供給に基づく特性を測定する特性測定装置(21)とを用いて半導体デバイスの特性を測定する装置において、前記信号発生器及び特性測定装置にはそれぞれ、互いに予め定められた測定動作を実行するための手順を格納する手順格納手段(13,23)と、1つの手順を実行する度に相手装置に対して次の手順の実行要求を示すトリガを送出し、該トリガの入力に基づき相互に1つの手順の実行を繰り返させる同期手段(14,24)と、を備えたことを特徴とする半導体デバイス測定装置。

IPC (3件)：

G01R 31/3183 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28

FI (3件)：

G01R 31/26 G ,  G01R 31/28 Q ,  G01R 31/28 H

Fターム (16件)：

2G003AE03 ,  2G003AG17 ,  2G003AH01 ,  2G003AH04 ,  2G032AA03 ,  2G032AA07 ,  2G032AA08 ,  2G032AB01 ,  2G032AD04 ,  2G032AG01 ,  9A001BB03 ,  9A001BB04 ,  9A001CC02 ,  9A001JJ45 ,  9A001KK37 ,  9A001LL05

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-233005
  
• 高周波IC試験装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-127879   出願人：株式会社アドバンテスト
• 電気特性測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-011507   出願人：株式会社リコー
• 特開昭62-111301