特許
J-GLOBAL ID：200903088327279084
透過型2次元光変調素子及びそれを用いた露光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
小栗 昌平
, 本多 弘徳
, 市川 利光
, 高松 猛
, 栗宇 百合子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-129108
公開番号（公開出願番号）：特開2004-062149
出願日： 2003年05月07日
公開日（公表日）： 2004年02月26日
要約：
【課題】光利用効率を向上させるとともに、投影露光における解像度を向上させることのできる透過型2次元光変調素子及びそれを用いた露光装置を得る。【解決手段】光源12からの面状光を2次元光変調素子に入射し、その透過率を画素毎に変え光変調する微小電気機械式の透過型2次元光変調素子23において、少なくとも2次元光変調素子の入射側に画素毎に対応させたマイクロレンズアレイを設け、光源12からの入射光をマイクロレンズアレイによって画素領域よりも面積の小さい領域に集光させて2次元光変調素子に導き、集光させた透過光像を投影する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
光源からの面状光を2次元光変調素子に入射し、その透過率を画素毎に変え光変調する微小電気機械式の透過型2次元光変調素子において、
少なくとも前記2次元光変調素子の入射側に画素毎に対応させたマイクロレンズアレイを設け、
前記光源からの入射光を該マイクロレンズアレイによって画素領域よりも面積の小さい領域に集光させて前記2次元光変調素子に導き、集光させた透過光像を投影することを特徴とする透過型2次元光変調素子。
IPC (7件)：
G02B26/02
, B81B3/00
, B81B7/04
, G02B3/00
, G02B5/00
, G03F7/207
, H01L21/027
G02B26/02 B
, B81B3/00
, B81B7/04
, G02B3/00 A
, G02B5/00 A
, G03F7/207 Z
, H01L21/30 515F
2H041AA05
, 2H041AA06
, 2H041AB04
, 2H041AC04
, 2H041AC06
, 2H041AZ01
, 2H041AZ08
, 2H042AA03
, 2H042AA04
, 2H042AA05
, 2H042AA08
, 2H042AA25
, 2H097AB05
, 2H097GB01
, 2H097LA09
, 2H097LA11
, 5F046BA03
, 5F046CB18
