原子間力顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-114924
公開番号（公開出願番号）：特開平5-312561
出願日： 1992年05月07日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：

【要約】【目的】大型の試料を観察できる原子間力顕微鏡を提供する。【構成】カンチレバー9は自由端部の一方の面に探針8を有し、その反対側の面に反射面10を有している。このカンチレバー9の反射面10に向けて所定の一定角度でレーザービームを射出するレーザーダイオードLDが設けられている。カンチレバー9は支持部7を介して、探針8を試料表面に沿って走査するための円筒型アクチュエーター4に支持されている。さらに、カンチレバー9の反射面10からのレーザービームを受光し、その入射位置から探針8の変位を検出する二分割フォトダイオードが設けられている。

請求項（抜粋）：

カンチレバーの自由端部に取り付けた探針を試料の表面に沿って走査し、探針先端と試料表面の原子間に作用する力に基づいて試料の物理特性を測定する原子間力顕微鏡であり、探針の反対側の面の自由端部に反射面を有しているカンチレバーと、カンチレバーの反射面に向けて所定の一定角度でレーザービームを射出する発光部と、カンチレバーを支持する支持部と、探針が試料表面を走査するように支持部を移動可能に支持している走査手段と、カンチレバーの反射面からのレーザービームを受光して探針の変位を検出する変位検出手段と、走査手段と変位検出手段で得られる信号に基づいて画像を形成する手段とを備えている原子間力顕微鏡。

IPC (4件)：

G01B 21/30 , G01B 7/34 , G01B 11/30 , H01J 37/28

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平4-122806
特開平4-001517
特開平3-257310

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