特許

J-GLOBAL ID：200903088353902750

スピン塗布装置

発明者： 石井 博行
出願人/特許権者： 山形日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-288707
公開番号（公開出願番号）：特開平11-121344
出願日： 1997年10月21日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：

【要約】【課題】スピン塗布装置において、不要な周縁部の膜にリンス液5を塗布し周縁膜を除去する際に、ウェーハ11の中心部へのリンス液の飛散を防止する。【解決手段】リンス液吐出ノズル4の近傍にバキュームノズル1を設け、常時真空排気しているバキュームノズル6で気泡の破裂によって飛散するリンス液と先端にたまるリンス液の雫7aを事前に吸引する。

請求項（抜粋）：

ウェーハを保持し回転するウェーハチャックと、レジストを滴下するレジスト滴下ノズルと、前記ウェーハの周縁部にリンス液を滴下するリンス液吐出ノズルとを備えるスピン塗布装置において、前記リンス液吐出ノズルの先端部と先端部を接触するとともに前記ウェーハと反対側の該リンス液吐出ノズルに配置されかつ常時真空排気されるバキュームノズルを備えることを特徴とするスピン塗布装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  B05C 11/08 ,  B05D 1/40 ,  G03F 7/16 502 ,  G03F 7/30 502

FI (6件)：

H01L 21/30 564 C ,  B05C 11/08 ,  B05D 1/40 A ,  G03F 7/16 502 ,  G03F 7/30 502 ,  H01L 21/30 577

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 回転塗布装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-140807   出願人：大日本スクリーン製造株式会社