有機化合物の蒸着方法、及び有機化合物の精製方法

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：三浦邦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-056707
公開番号（公開出願番号）：特開2001-323367
出願日： 2001年03月01日
公開日（公表日）： 2001年11月22日
要約：

【要約】【目的】収容容器に収容された有機化合物が略均一に加熱される、蒸着効率の高い有機化合物の蒸着方法を得ること。【構成】有機化合物の粉体が収容された収容容器を真空中において加熱し、該有機化合物を気化又は昇華させて被蒸着面に付着させて、該被蒸着面上に薄膜を形成する有機化合物の蒸着方法において、有機化合物の粉体は、セラミックス、金属、及びセラミックスを被覆した金属のうちの少なくとも1種の粉体又は破砕体と混合して収容容器に収容し、収容容器を加熱する有機化合物の蒸着方法。

請求項（抜粋）：

有機化合物の粉体が収容された収容容器を真空中において加熱し、該有機化合物を気化又は昇華させて被蒸着面に付着させて、該被蒸着面上に有機化合物の薄膜を形成する有機化合物の蒸着方法において、上記有機化合物の粉体を、セラミックス、金属、及びセラミックスを被覆した金属のうちの少なくとも1種の粉体または破砕体と混合して上記収容容器に収容し、該収容容器を加熱することを特徴とする有機化合物の蒸着方法。

IPC (5件)：

C23C 14/24 , C07B 63/00 , C23C 14/12 , H05B 33/10 , H05B 33/14

FI (5件)：

C23C 14/24 E , C07B 63/00 H , C23C 14/12 , H05B 33/10 , H05B 33/14 A

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平1-225769
特開昭63-235466
特開平1-225769

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