露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：中島淳 , 加藤和詳 , 西元勝一 , 福田浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-150974
公開番号（公開出願番号）：特開2006-330165
出願日： 2005年05月24日
公開日（公表日）： 2006年12月07日
要約：

【課題】ユーザーの判断により露光処理が実行できるようにして、生産性の向上が図れるようにした露光装置の提供を課題とする。【解決手段】光ビームを照射して感光材料40を走査露光する露光手段46と、露光手段46に対して相対移動し、感光材料40を走査方向に沿って搬送する搬送手段28と、露光手段46及び搬送手段28が移動可能に収容された収容室13と、露光手段46及び搬送手段28の少なくとも一方を含む収容室13の複数箇所に設けられ、その複数箇所の温度を測定する温度測定手段58と、温度測定手段58による測定結果から複数箇所毎の温度安定度合いを判定する判定手段100と、判定手段100の判定結果から導出される露光性能レベルを表示する表示手段108と、表示手段108に表示された露光性能レベルに基づいて露光開始指示を行うための入力手段110と、を備えた露光装置10とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光ビームを照射して感光材料を走査露光する露光手段と、前記露光手段に対して相対移動し、前記感光材料を走査方向に沿って搬送する搬送手段と、前記露光手段及び前記搬送手段が移動可能に収容された収容室と、前記露光手段及び前記搬送手段の少なくとも一方を含む前記収容室の複数箇所に設けられ、該複数箇所の温度を測定する温度測定手段と、前記温度測定手段による測定結果から前記複数箇所毎の温度安定度合いを判定する判定手段と、前記判定手段の判定結果から導出される露光性能レベルを表示する表示手段と、を有することを特徴とする露光装置。

IPC (1件)：

G03F 7/20

FI (1件)：

G03F7/20 505

Fターム (5件)：

2H097AB05 , 2H097BA02 , 2H097BB10 , 2H097CA17 , 2H097LA09

引用特許：

出願人引用 (1件)

レーザ描画装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-274458 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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