成膜装置用構成部品及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：飯阪泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-108165
公開番号（公開出願番号）：特開平8-277460
出願日： 1995年04月06日
公開日（公表日）： 1996年10月22日
要約：

【要約】[目的] 成膜材料が厚く付着堆積してもこれを剥離脱落させない成膜装置用構成部品及びその製造方法を提供すること。[構成] アルミニウム合金の平板の片面に機械加工によって、縦横の両方向に2mmピッチで巾1mm、深さ2mmの溝を掘り、凹部と凸部とにR0.5mmの丸みを付けた凹凸M、Nを設けて母材1とし、その凹凸面にショット・ブラストし、濃度17%の硫酸に常温で24時間浸漬した後、水洗し乾燥して成膜装置用構成部品とする。

請求項（抜粋）：

アルミニウムまたはアルミニウム合金からなる成膜装置用構成部品、もしくは表面に大きさが数ミリメートルまたはミリメートル以下の凹凸を設けたアルミニウムまたはアルミニウム合金からなる成膜装置用構成部品において、これらがあらかじめ硫酸、リン酸、シュウ酸、クロム酸の何れかに浸漬されており、成膜中に付着堆積する成膜材料が剥離脱落しないことを特徴とする成膜装置用構成部品。

IPC (2件)：

C23C 14/00 , C23C 16/02

FI (2件)：

C23C 14/00 B , C23C 16/02

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平4-289159
特開平2-213480
半導体製造装置等の清掃方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-283653 出願人：株式会社ネオス

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