特許

J-GLOBAL ID：200903088394289558

感光性ペーストを用いたパターン形成方法

発明者： 杉本 和彦 ,  安井 秀明 ,  住田 圭介 ,  田中 博由 ,  藤原 伸也 ,  丸中 英喜
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-296316
公開番号（公開出願番号）：特開2001-117239
出願日： 1999年10月19日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：

【要約】【課題】 感光性ペーストを用いたパターン形成方法において、焼成工程で塗膜に剥離が生じる。【解決手段】 表面と裏面の両方から、露光することにより、現像後の被形成面との接触面積を増大させ、膜の密着力を増加させる。

請求項（抜粋）：

印刷、露光、現像、焼成工程によりパターニングするネガ型感光性ペースト材料を用いたパターン形成方法であって、前記露光工程において表面と裏面の両方から露光することを特徴とするパターン形成方法。

IPC (5件)：

G03F 7/20 501 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/40 501 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/02

FI (5件)：

G03F 7/20 501 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/40 501 ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/02 B

Fターム (35件)：

2H025AA14 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025CC09 ,  2H025FA04 ,  2H025FA15 ,  2H096AA00 ,  2H096AA27 ,  2H096BA01 ,  2H096EA02 ,  2H096EA15 ,  2H096GA01 ,  2H096HA01 ,  2H096JA04 ,  2H097AA01 ,  2H097FA06 ,  2H097JA02 ,  2H097LA20 ,  5C027AA01 ,  5C027AA02 ,  5C040FA01 ,  5C040GC05 ,  5C040GC18 ,  5C040GC19 ,  5C040JA02 ,  5C040JA15 ,  5C040JA32 ,  5C040KA01 ,  5C040KA16 ,  5C040KB03 ,  5C040KB17 ,  5C040MA10 ,  5C040MA24 ,  5C040MA26

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 厚膜パターンの形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-313778   出願人：凸版印刷株式会社
• 特開平3-163727
  
• 特開平3-163727