特許
J-GLOBAL ID:200903088421901546

振動子、振動子の支持構造、振動型ジャイロスコープおよび直線加速度計

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 杉村 暁秀 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-003784
公開番号(公開出願番号):特開2001-194154
出願日: 2000年01月12日
公開日(公表日): 2001年07月19日
要約:
【要約】【課題】所定面内に延びており、所定面内に重心を有しており、外部の固定用部材に固定されるべき振動子であって、重心が位置する基部、この基部の周縁部から突出する駆動振動系および基部の周縁部から突出する検出振動系を備えている振動子において、外部からの加振に対する応答に伴うノイズないし振動感度(非回転時、非駆動時)を減少させる。【解決手段】振動子1Aは、基部8Aの周縁部18から突出する固定部12A、12B、12C、12Dであって、固定用部材20に対して固定されるべき固定部を備えている。
請求項(抜粋):
所定面内に延びており、この所定面内に重心を有しており、かつ外部の固定用部材に対して固定されるべき振動子であって、前記重心が位置する基部、この基部の周縁部から突出する駆動振動系、前記基部の周縁部から突出する検出振動系、および前記基部の周縁部から突出する固定部であって、前記固定用部材に対して固定されるべき固定部を備えていることを特徴とする、振動子。
IPC (3件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/09
FI (3件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 C
Fターム (6件):
2F105AA02 ,  2F105AA10 ,  2F105BB03 ,  2F105CC04 ,  2F105CD06 ,  2F105CD13
引用特許:
審査官引用 (1件)

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