マイクロポンプおよびポンプシステム

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鵜沼辰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-264171
公開番号（公開出願番号）：特開平10-110681
出願日： 1996年10月04日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：

【要約】【課題】微小な流量を吐出するマイクロポンプにおいて、ポンプの性能に対する構成部材の加工精度の影響を低減する。【解決手段】少なくとも一部分が振動するダイアフラム8を有するシリコンで構成された第1の基板1と、前記基板1と対向して接合された同じくシリコンで構成された第2の基板2と、を含んでマイクロポンプを構成し、前記第2の基板の前記ダイアフラム8に対向する位置に圧力室3を形成するとともに圧力室3につながるノズル11を圧力室3に向かって流路幅が狭くなる形に形成し、同じく圧力室3につながるノズル11Aを圧力室3から離れるにつれて流路幅が狭くなる形に形成し、ノズル11及びノズル11Aが最も狭まった位置に、前記ダイアフラム面に平行な面に投影した形状がノズル11及びノズル11Aの内壁面を延長するように、ノズル中心線に平行に伸びる各一対の突起部12,12Aを設けた。

請求項（抜粋）：

少なくとも一部分に板厚方向に振動するダイアフラムを有する第1の基板と、前記第1の基板に対向しかつ接して配置された第2の基板と、前記ダイアフラムを壁面の少なくとも一部として第1の基板及び第2の基板の間に形成された圧力室と、この圧力室につながる少なくとも2個の流路とを有してなり、前記第1の基板のダイアフラムを振動させることにより圧力室の体積を変化させ、取扱流体が前記体積変化により前記圧力室に流入するときの流体抵抗と圧力室から流出するときの流体抵抗の差を利用して流体を吐出するバルブレスマイクロポンプにおいて、前記圧力室もしくは圧力室につながる流路に、ダイヤフラム面に平行な面内で少なくとも一対の突起部を設けたことを特徴とするマイクロポンプ。

引用特許：

審査官引用 (6件)

ダイアフラム型容積型ポンプ
公報種別：公表公報出願番号：特願平6-518895 出願人：ステーメ,エリック, ステーメ,ゲーラン
特開昭61-180075
特開昭62-221884

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