特許
J-GLOBAL ID:200903088441329210
半導体ウエハ、半導体装置及びその製造方法、回路基板並びに電子機器
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
井上 一
, 布施 行夫
, 大渕 美千栄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-078097
公開番号(公開出願番号):特開2004-288816
出願日: 2003年03月20日
公開日(公表日): 2004年10月14日
要約:
【課題】本発明は、樹脂層の剥離を防止又は抑制することを目的とする。【解決手段】半導体装置は、集積回路12と、集積回路12に電気的に接続する配線と、が形成されており、配線の一部であるパッド16を表面に含む半導体チップ40を有する。半導体装置は、パッド16と電気的に接続してなる再配線層22と、再配線層22の上方に再配線層22に電気的に接続して設けられた外部端子26と、外部端子26を囲むとともに半導体チップ40の側面に至るように設けられてなる樹脂層30と、を含む。【選択図】 図6
請求項(抜粋):
集積回路と、前記集積回路に電気的に接続する配線と、が形成されており、前記配線の一部であるパッドを表面に含む半導体チップと、
前記パッドと電気的に接続してなる再配線層と、
前記再配線層の上方に、前記再配線層に電気的に接続して設けられた外部端子と、
前記外部端子を囲むとともに、前記半導体チップの側面に至るように設けられてなる樹脂層と、
を含む半導体装置。
IPC (4件):
H01L23/12
, H01L21/60
, H01L23/29
, H01L23/31
FI (3件):
H01L23/12 501P
, H01L23/30 B
, H01L21/92 603B
Fターム (5件):
4M109AA02
, 4M109CA10
, 4M109CA24
, 4M109EA15
, 4M109EC04
引用特許:
審査官引用 (2件)
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半導体装置の製造方法および半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-325159
出願人:株式会社日立製作所, 株式会社日立超エル・エス・アイ・システムズ
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半導体装置の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-046301
出願人:日本テキサス・インスツルメンツ株式会社
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