圧電素子及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：栗原浩之 , 村中克年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-356706
公開番号（公開出願番号）：特開2006-303425
出願日： 2005年12月09日
公開日（公表日）： 2006年11月02日
要約：

【課題】耐電圧が高く耐久寿命の長い圧電素子及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置を提供する。【解決手段】基板上に設けられた下電極、圧電体層及び上電極からなり、且つ前記圧電体層の電気抵抗率が20MΩ・cm以上となるようにする。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

基板上に設けられた下電極、圧電体層及び上電極からなり、且つ前記圧電体層の電気抵抗率が20MΩ・cm以上であることを特徴とする圧電素子。

IPC (6件)：

H01L 41/09 , B41J 2/045 , B41J 2/055 , H01L 41/187 , H01L 41/22 , H02N 2/00

FI (9件)：

H01L41/08 C , B41J3/04 103A , H01L41/08 J , H01L41/18 101B , H01L41/18 101C , H01L41/18 101D , H01L41/18 101J , H01L41/22 Z , H02N2/00 B

Fターム (6件)：

2C057AF65 , 2C057AG12 , 2C057AG42 , 2C057AG44 , 2C057BA03 , 2C057BA14

引用特許：

出願人引用 (1件)

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