特許

J-GLOBAL ID：200903088507614841

スピン偏極走査型トンネル顕微鏡及び再生装置

発明者： 奥野 志保 ,  田中 国義 ,  岸 達也
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-401627
公開番号（公開出願番号）：特開2002-202238
出願日： 2000年12月28日
公開日（公表日）： 2002年07月19日
要約：

【要約】【課題】 試料と探針との磁気的相互作用なしにスピン検出を行うことができ、且つ表面凹凸が激しい試料に対しても探針の破損を防止できる。【解決手段】 試料表面の磁気スピンを数nm以下の空間分解能で観察するためのスピン偏極走査型トンネル顕微鏡において、先端部から数100nmの距離に磁性電極33を被着したカーボンナノチューブ32からなる探針30と、磁性電極33に対し交流磁場を印加して磁性電極33の磁化方向を変調する磁場発生機構41と、探針30と試料20との間にバイアス電圧を印加し、トンネル電流が一定となるように制御するSTM制御部40と、磁場変調に伴うトンネル電流の変調応答信号成分を抽出して試料表面の磁気スピン状態を検出する位相検波増幅器45とを備えた。

請求項（抜粋）：

先端部から所定距離以内の領域に磁性電極を被着したカーボンナノチューブからなる探針と、前記磁性電極に対し交流磁場を印加して該磁性電極の磁化方向を周期的に変化させる磁場発生機構と、前記探針を試料表面に対して相対的に走査させる走査機構と、前記探針と試料との間に所定の電圧を印加するバイアス電圧源と、前記探針と試料との間に流れるトンネル電流を検出する電流検出機構と、前記トンネル電流の平均値が一定となるように前記探針を高さ方向に駆動する駆動機構と、前記磁化方向の変化に伴うトンネル電流の交流応答信号成分を抽出して試料表面の磁気スピン状態を検出する磁気スピン検出機構とを具備してなることを特徴とするスピン偏極走査型トンネル顕微鏡。

IPC (2件)：

G01N 13/12 ,  G01N 13/10

FI (3件)：

G01N 13/12 A ,  G01N 13/12 D ,  G01N 13/10 G

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 走査型プローブ顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-144912   出願人：株式会社日立製作所
• 磁気記録再生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-266966   出願人：株式会社東芝
• 走査表面磁気顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-107329   出願人：株式会社日立製作所