特許

J-GLOBAL ID：200903088540375275

力学量センサとその製造方法

発明者： 竹内 幸裕 ,  加藤 信之 ,  山内 庄一
出願人/特許権者： 株式会社デンソー
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-206835
公開番号（公開出願番号）：特開2000-040830
出願日： 1998年07月22日
公開日（公表日）： 2000年02月08日
要約：

【要約】【課題】梁構造体にスティッキング等の不具合が生じにくい力学量センサとその製造方法を提供する。【解決手段】 可動電極7a,7bを有する梁構造体2Aは、基板1の上面に所定間隔を隔てて基板1の表面に平行な方向に移動可能に支持されている。固定電極9a,9b,11aは、基板1の上面に固定され、梁構造体2Aの可動電極7a,7bに対向して配置され、加速度の印加に伴う梁構造体2Aの変位を可動電極7a,7bと共に検出する。可動電極7a,7bと固定電極9a,9b,11aとが対向する面がテーパ形状をなし、可動電極7a,7bと固定電極9a,9b,11aとが対向する面内において梁構造体2Aの移動方向での離間距離が異なっている。

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板の上面に所定間隔を隔てて基板の表面に平行な方向に移動可能に支持され、可動電極を有する梁構造体と、前記基板の上面に固定され、前記梁構造体の可動電極に対向して配置され、力学量の印加に伴う梁構造体の変位を前記可動電極と共に検出するための固定電極と、を備えた力学量センサであって、前記可動電極と固定電極とが対向する面内において前記梁構造体の移動方向での離間距離を異ならせたことを特徴とする力学量センサ。

IPC (2件)：

H01L 29/84 ,  G01P 15/125

FI (2件)：

H01L 29/84 Z ,  G01P 15/125

Fターム (12件)：

4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA22 ,  4M112CA26 ,  4M112CA36 ,  4M112DA03 ,  4M112DA04 ,  4M112DA05 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA04 ,  4M112FA07

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-163158   出願人：株式会社村田製作所
• 半導体力学量センサとその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-019192   出願人：株式会社デンソー