画像計測装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木下實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-362640
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174234
出願日： 1999年12月21日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】【課題】高精度な画像計測が可能な画像計測装置を提供する。【解決手段】テーブルに載置された測定対象物Wの画像を取り込む画像計測ヘッドを備える。画像計測ヘッドは、レーザ光源21と、CCDカメラ27と、光源からの光を平行光として測定対象物に照射するコリメータレンズ24と、このコリメータレンズと測定対象物との間でコリメータレンズの光軸に対して平行に配置された参照ミラー26と、コリメータレンズと測定対象物との間に配置され前記平行光を測定対象物の測定面への測定光と前記参照ミラーへの参照光とに分けるとともに、これらからの反射光を前記コリメータレンズを介して前記CCDカメラ27へ導くビームスプリッタ25とを有する。

請求項（抜粋）：

測定対象物を載置するテーブルと、このテーブルに載置された測定対象物の画像を取り込む画像計測ヘッドと、前記テーブルおよび画像計測ヘッドを相対移動させる相対移動手段とを備え、前記相対移動手段によって前記テーブルおよび画像計測ヘッドを相対移動させながら、前記画像計測ヘッドから取り込んだ画像情報および前記相対移動手段による相対移動量を基に測定対象物の形状や座標を計測する画像計測装置であって、前記画像計測ヘッドは、光源と、観察光学系と、前記光源からの光を前記測定対象物の測定面および参照面に導くとともに、これらからの反射光を前記観察光学系へ導くビームスプリッタとを有する干渉計によって構成されていることを特徴とする画像計測装置。

IPC (2件)：

G01B 11/24 , G01B 9/02

FI (3件)：

G01B 9/02 , G01B 11/24 K , G01B 11/24 D

Fターム (42件)：

2F064AA09 , 2F064BB07 , 2F064CC04 , 2F064EE02 , 2F064EE05 , 2F064FF01 , 2F064FF05 , 2F064GG00 , 2F064GG02 , 2F064GG12 , 2F064GG22 , 2F064GG41 , 2F064GG59 , 2F064GG65 , 2F064HH03 , 2F064HH08 , 2F064JJ00 , 2F064JJ01 , 2F064JJ15 , 2F064KK01 , 2F065AA54 , 2F065BB13 , 2F065DD03 , 2F065DD09 , 2F065FF51 , 2F065FF67 , 2F065GG04 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL00 , 2F065LL02 , 2F065LL04 , 2F065LL12 , 2F065LL24 , 2F065LL30 , 2F065LL46 , 2F065MM03 , 2F065MM24 , 2F065PP12 , 2F065QQ00 , 2F065QQ16 , 2F065QQ28

引用特許：

審査官引用 (5件)

面形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-290290 出願人：キヤノン株式会社
特開平4-269603
特開昭63-295911

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