特許

J-GLOBAL ID：200903088633705623

蒸着組成物、それを利用した反射防止膜の形成方法及び光学部材

発明者： 三石 剛史 ,  武井 博基 ,  新出 謙一 ,  嘉村 斉 ,  小林 明徳 ,  渡邊 裕子 ,  高橋 幸弘
出願人/特許権者： ホーヤ株式会社
代理人 (1件)： 大谷 保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-128157
公開番号（公開出願番号）：特開2002-205353
出願日： 2001年04月25日
公開日（公表日）： 2002年07月23日
要約：

【要約】【目的】 合成樹脂基板上に多層反射防止膜を有する光学部材を製造する際に、耐熱性が良好で、かつ経時的に耐熱性が低下する程度が小さい反射防止膜を有する光学部材を、高屈折率層が本来有する物性を損なうことなく、より短時間で高屈折率層を形成する方法を提供する。【構成】 多層反射防止膜の高屈折率層の少なくとも1層に、酸化ニオブ、酸化ジルコニウム及び酸化イットリウム、或いは更に酸化アルミニウムを含む蒸着組成物を用いて反射防止膜を形成させる。

請求項（抜粋）：

酸化ニオブ、酸化ジルコニウム及び酸化イットリウムを含有する蒸着組成物。

IPC (6件)：

B32B 9/00 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/24 ,  G02B 1/10 ,  G02B 1/11 ,  G02C 7/02

FI (6件)：

B32B 9/00 A ,  C23C 14/08 N ,  C23C 14/24 E ,  G02C 7/02 ,  G02B 1/10 A ,  G02B 1/10 Z

Fターム (40件)：

2K009AA05 ,  2K009AA06 ,  2K009AA07 ,  2K009AA08 ,  2K009AA09 ,  2K009AA15 ,  2K009BB14 ,  2K009BB24 ,  2K009CC03 ,  2K009CC09 ,  2K009CC42 ,  2K009DD03 ,  2K009DD07 ,  4F100AA17C ,  4F100AA19C ,  4F100AA20C ,  4F100AA27C ,  4F100AA33C ,  4F100AK01A ,  4F100AR00B ,  4F100BA03 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10C ,  4F100EH66C ,  4F100GB90 ,  4F100JJ03 ,  4F100JK12B ,  4F100JN06 ,  4F100JN18 ,  4F100YY00C ,  4K029AA11 ,  4K029BA46 ,  4K029BA50 ,  4K029BB02 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029CA09 ,  4K029DB05 ,  4K029FA07

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 反射防止フィルム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-061805   出願人：凸版印刷株式会社
• 化合物薄膜形成方法及び光学薄膜及び光学素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-282261   出願人：株式会社ニコン
• 光学部材、及び光学部品
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-094967   出願人：日本ゼオン株式会社