特許

J-GLOBAL ID：200903088638474328

荷電粒子ビーム装置

発明者： 河合 英治
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-165053
公開番号（公開出願番号）：特開2004-014251
出願日： 2002年06月06日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：

【課題】大型試料上の何れの領域の二次電子像観察においても、ほぼ同一のコントラストを得る。【解決手段】試料ホルダー50Bを二段構えに成し、上段の面に試料60を載置し、下段の面に段差を取り囲む様な補正電極31Bを載置するように成す。下段の面に載置させた補正電極31Bは、試料表面と面一となる厚さを有するように成し、補正電極31に可変補正電源33から大きさがコントロール可能な負の電圧を印加出来るように成す。試料ホルダー50B上に載置された試料60の所定領域を荷電粒子ビームで走査し、該走査により試料から発生した二次電子を、試料60と対物レンズの磁極片40との間に配設された二次電子検出器90で検出し、該検出した二次電子に基づいて前記走査領域の二次電子像を得るように成している。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

試料台上に載置された試料上の所定領域を荷電粒子ビームで走査し、該走査により試料から発生した二次電子を、試料と対物レンズの間に配設された二次電子検出器で検出し、該検出した二次電子に基づいて前記走査領域の二次電子像を得るように成した荷電粒子ビーム装置において、試料台を二段構えに成し、上段の面に試料を載置し、下段の面に段差を取り囲む様な補正電極を載置するように成し、該下段の面に載置された補正電極は、試料表面と面一となる厚さを有し、試料上の最も外側の観察領域を観察する時に、対物レンズと補正電極の間の空間に二次電子検出器が位置するような幅を有する様に成し、該補正電極と試料とが同電位になるようにした荷電粒子ビーム装置。

IPC (6件)：

H01J37/20 ,  G03F7/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01L21/027 ,  H01L21/66

FI (7件)：

H01J37/20 D ,  G03F7/20 504 ,  G03F7/20 521 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 B ,  H01L21/66 J ,  H01L21/30 541U

Fターム (19件)：

2H097AA03 ,  2H097BA10 ,  2H097CA16 ,  2H097LA10 ,  4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106CA38 ,  4M106DB20 ,  5C001AA01 ,  5C001BB07 ,  5C001CC04 ,  5C033NN01 ,  5C033NN05 ,  5C033UU02 ,  5C033UU03 ,  5C033UU04 ,  5F056BA08 ,  5F056BB01 ,  5F056EA14

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 試料の保持方法,試料の保持装置、および荷電粒子線装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-326325   出願人：株式会社日立製作所
• 集束イオンビーム質量分析装置および分析方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-362213   出願人：株式会社日立製作所