特許
J-GLOBAL ID：200903088640639040
ECRイオン源に用いられるプラズマ閉じ込め用のミラー磁場発生装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
西澤 利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-226135
公開番号（公開出願番号）：特開2006-049020
出願日： 2004年08月02日
公開日（公表日）： 2006年02月16日
要約：
【課題】イオン源調整時においてもミラー磁場強度を変化させることができ、多価イオンの生成にも適するECRイオン源に用いられるプラズマ閉じ込め用のミラー磁場発生技術を提供する。【解決手段】 この出願の発明のミラー磁場発生装置は、ECRイオン源に用いられるプラズマ閉じ込め用のミラー磁場を発生させるものであり、イオン源中心軸(X)方向に離間配置された一対の環状永久磁石(4)、(5)からなり、ミラー磁場を生成するミラー磁場生成部(2)と、ミラー磁場生成部(2)の一対の環状永久磁石(4)、(5)間に設けられ、複数の扇形状永久磁石を環状に配置して構成され、ミラー磁場生成部(2)が生成したミラー磁場を増幅するミラー磁場増幅部(3)と、ミラー磁場増幅部(3)を構成する各扇形状永久磁石をイオン源中心軸(X)に対して径方向に移動させる扇形状永久磁石移動手段(14)、(18)を備え、各扇形状永久状磁石の径方向の移動により、ミラー磁場強度を変化させることができることを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ECRイオン源に用いられるプラズマ閉じ込め用のミラー磁場を発生させる装置であって、
イオン源中心軸方向に離間配置された一対の環状永久磁石からなり、ミラー磁場を生成するミラー磁場生成部と、
ミラー磁場生成部の一対の環状永久磁石間に設けられ、複数の扇形状永久磁石を環状に配置して構成され、ミラー磁場生成部が生成したミラー磁場を増幅するミラー磁場増幅部と、
ミラー磁場増幅部を構成する各扇形状永久磁石をイオン源中心軸に対して径方向に移動させる扇形状永久磁石移動手段を備え、
各扇形状永久状磁石の径方向の移動により、ミラー磁場強度を変化させることができることを特徴とするミラー磁場発生装置。
IPC (3件)：
H01J 27/18
, H01J 37/08
, H05H 1/46
H01J27/18
, H01J37/08
, H05H1/46 C
5C030DD02
, 5C030DE07
, 5C030DG09
