電子サイクロトロン共鳴イオン源

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-158226
公開番号（公開出願番号）：特開2001-338589
出願日： 2000年05月29日
公開日（公表日）： 2001年12月07日
要約：

【要約】【課題】ガス媒質を導入する導管、ガス媒質を励振するための高周波を注入する導波管、イオンの抽出部を有する真空容器、及び真空容器に磁場を印加するための永久磁石からなる電子サイクロトロンイオン源において、所要のイオンを得るのに必要な磁束密度分布を容易に得られるようにすること。【解決手段】真空容器の中心軸に平行な方向の磁場を形成する永久磁石、中心軸に垂直な面で中心軸に対し放射状の方向の磁場を形成する永久磁石のそれぞれについて、着磁の方向を真空容器の中心軸の平行方向及び垂直方向からずらすこと、及び各永久磁石の設置位置を可変とすることで、必要な磁束密度分布が得られる。

請求項（抜粋）：

電子サイクロトロン共鳴によって、加速された電子によるプラズマの形成のために、イオン化が可能なガス媒質を封入している真空容器(102)と、真空容器(102)の長さ方向の両端に入力端部(1)と出力端部(2)をもち、真空容器(102)内に、ガス媒質をイオン化するための電磁場と、真空容器(102)の入力端部(1)より前記ガス及び電磁波を注入する手段と、真空容器(102)内で、長さ方向に対して垂直である容器の断面でのインダクション値が極小であるような、軸対称の磁場を発生させる手段と、真空容器(102)において、放射状に磁場を形成するための永久磁石と、真空容器(102)の出力端部(2)よりイオン抽出するイオン抽出部をもつ電子サイクロトロン共鳴イオン源において、真空容器(102)の軸(3)に対して、軸対称の磁場を発生させる永久磁石(305,306)の磁場方向を、軸(3)に対して一定の角度をなすように設定し、放射状の磁場形成するための永久磁石(301,302,303,304)の磁場方向を、軸(3)に直交する面に対して一定の角度をなすように設定したことを特徴とする電子サイクロトロン共鳴イオン源。

IPC (4件)：

H01J 27/18 , C23C 14/46 , C23C 14/48 , H01J 37/08

FI (4件)：

H01J 27/18 , C23C 14/46 B , C23C 14/48 Z , H01J 37/08

Fターム (7件)：

4K029BD01 , 4K029CA05 , 4K029CA10 , 4K029DC37 , 4K029DE02 , 5C030DD01 , 5C030DE07

引用特許：

審査官引用 (4件)

イオン源装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-112755 出願人：入江工研株式会社
ECRイオン源
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-322066 出願人：三菱電機株式会社
イオン源装置およびそのイオン源装置を備えたイオン打ち込み装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-076824 出願人：株式会社日立製作所

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