特許
J-GLOBAL ID：200903088645504364
水晶基板のエッチング方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-003547
公開番号（公開出願番号）：特開平11-199400
出願日： 1998年01月09日
公開日（公表日）： 1999年07月27日
要約：
【要約】【課題】 水晶基板をフッ酸を主成分とするエッチング液にてエッチングを行う場合、エッチングした断面形状を垂直に近づけるには長時間のエッチング時間が必要であった。【解決手段】 エッチング液に溶解させる部分のすべてあるいは一部分にあらかじめレーザー照射を行い変質層を形成する。その後にエッチング液に浸してエッチングする。
請求項（抜粋）：
水晶を所望の形状に、水晶基板を溶解するエッチング液を用いてエッチングする場合において、エッチング液に溶解させる部分のすべてあるいは一部分にあらかじめレーザー照射を行い、その後にエッチング液に浸してエッチングすることを特徴とする水晶基板のエッチング方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (3件)
-
特開昭62-109323
-
半導体装置のエッチング加工方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-055083
出願人：株式会社神戸製鋼所
-
特開平3-253025
前のページに戻る
