特許

J-GLOBAL ID：200903088711944125

発熱体とその製造方法、サーマルヘッドおよびサーマルプリンタ

発明者： 師岡 利光 ,  根本 裕彦
出願人/特許権者： セイコーインスツル株式会社
代理人 (2件)： 上田 邦生 ,  藤田 考晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-048239
公開番号（公開出願番号）：特開2006-231650
出願日： 2005年02月24日
公開日（公表日）： 2006年09月07日
要約：

【課題】 所望の大きさの断熱層を容易に得ることができるとともに、ヒータ部の発熱効率を向上させることができて、均一かつ良好な印字品質を得ることができる発熱体およびその製造方法を提供すること。【解決手段】 上面に少なくとも一つの凹所25を有する基板21とこの基板21上に積層された薄膜22とにより構成される中空構造体と、前記凹所25に対応した位置に設けられた抵抗体23と、各抵抗体23に接続されて電力が供給される電極24とを具備する発熱体11であって、前記薄膜22を貫通して凹所25に接続する貫通孔32が、前記抵抗体23とは異なる位置に設けられていることを特徴とする。【選択図】 図7

請求項（抜粋）：

基板上に少なくとも一つの凹所を形成し、この凹所内に犠牲層を成膜し、その上に前記基板とともに中空構造体を構成する薄膜を成膜し、さらにその上の前記凹所に対応した位置に抵抗体、および、各抵抗体に接続される電極を順次パターニングした後に、前記犠牲層を溶解するエッチング液中に漬けて、前記犠牲層を前記凹所内から除去することを特徴とする発熱体の製造方法。

IPC (1件)：

B41J 2/335

FI (3件)：

B41J3/20 111D ,  B41J3/20 111C ,  B41J3/20 111H

Fターム (9件)：

2C065JC03 ,  2C065JC06 ,  2C065JD06 ,  2C065JD12 ,  2C065JD14 ,  2C065JD16 ,  2C065JH05 ,  2C065JH10 ,  2C065JH14

引用特許：

出願人引用 (1件)

• インクジェット記録ヘッド及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-022521   出願人：キヤノン株式会社