特許
J-GLOBAL ID：200903088713863491
広いダイナミックレンジのイオンビームスキャナー
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹内 澄夫 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-534181
公開番号（公開出願番号）：特表2003-513419
出願日： 2000年09月26日
公開日（公表日）： 2003年04月08日
要約：
【要約】【解決手段】荷電粒子ビームを走査するための方法及び装置が与えられる。該装置は走査エレメント及び走査原点を有する走査パターンで荷電粒子ビームを走査するための走査信号を生成するための走査信号生成器を含む。ひとつの実施例において、装置はエネルギーのような荷電粒子ビームのパラメータに基づいて走査エレメントを配置するための位置制御器を含む。走査エレメントは異なるビームエネルギーに対して走査原点の固定位置を達成するよう配置される。他の実施例において、装置は走査エレメントの第1及び第2セット並びにエネルギーのような荷電粒子ビームのパラメータに基づいて走査エレメントのセットに供給される走査信号を制御するための走査信号制御器を含む。走査信号制御器は走査エレメントのセットに印加される走査信号の比率を制御するか、または装置を通過して伝達されるビームを減少させる荷電粒子ビームに対する空間電荷力を最小化するために走査エレメントのセットを消勢する。
請求項（抜粋）：
荷電粒子ビームを走査するための装置であって、 荷電粒子ビームが通過するためのギャップによって離隔された走査エレメントと、 走査原点を有する走査パターンで荷電粒子ビームを走査するための走査信号を生成するための前記走査エレメントに接続された走査信号生成器と、 荷電粒子ビームの少なくともひとつのパラメータに基づいて前記走査エレメントを配置するための位置制御器と、から成る装置。
IPC (4件)：
H01J 37/147
, H01J 37/317
, H01L 21/265
, H01L 21/265 603
H01J 37/147 D
, H01J 37/317 A
, H01L 21/265 603 B
, H01L 21/265 T
